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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>物理特性分析儀器>測厚儀>其它測厚儀 > IRE-200 膜厚測試儀

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IRE-200 膜厚測試儀

參考價900000-1500000/臺
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 武漢頤光科技有限公司
  • 品牌頤光科技
  • 型號
  • 所在地武漢市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2025/4/27 16:11:29
  • 訪問次數(shù) 2836

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       武漢頤光科技有限公司(Wuhan Eoptics Technology Co,Ltd)是國內(nèi)從事橢偏儀以及光學納米測量設備研發(fā)、制造與銷售的企業(yè)。公司由多位具有二十多年偏振光學測量經(jīng)驗的專家聯(lián)合創(chuàng)辦,與華中科技大學緊密合作,現(xiàn)有員工80%以上擁有碩士或博士學位,是橢偏光學儀器領域非常有優(yōu)勢的技術團隊。

       頤光科技注冊于武漢東湖國家自主創(chuàng)新示范區(qū),立足光谷,面向,為用戶提供光學散射測量儀等系列產(chǎn)品,并提供儀器、軟件、服務等綜合解決方案。產(chǎn)品廣泛應用于集成電路、半導體、光伏太陽能、平板顯示、LED照明、存儲、生物、醫(yī)藥、化學、電化學、光學鍍膜和保護膜、減反膜、光刻材料等眾多領域。

      頤光科技充分利用武漢地區(qū)的交通便利和人才優(yōu)勢,立志成為中國的光學儀器設備研發(fā)創(chuàng)新平臺和產(chǎn)業(yè)化基地,立志成為企業(yè)值得信賴的合作伙伴

光譜橢偏儀,反射膜厚儀

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 面議
應用領域 電子/電池,航空航天,電氣

 

一、概述

IRE-200光學薄膜測厚儀是一款超高精度的外延層厚度測量設備,利用紅外光譜經(jīng)傅里葉變換進行快速分析,主要應用于Si、GaAs、InP、SiC、GaN等各類外延片的外延層厚度測量。

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■ 單拋/雙拋等多種模式選擇支持;

■ 自定義mapping功能;

■ 高檢測速率:Si標準外延片測量25點≤3min;

■ 高檢測精度:≤0.01um 。

二、產(chǎn)品特點

1)設備采用高性能光源模塊,光源穩(wěn)定性好,信噪比高,覆蓋范圍7800-350cm-1

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2)搭配自主研發(fā)算法軟件,可精準快速地獲取測量結(jié)果。

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3) 搭配自主研發(fā)的mapping運動臺,定位精準、測量速度快。

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三、產(chǎn)品應用

 IRE-200廣泛應用于半導體行業(yè)中Si、SiC、GaAs、InP、GaN等基底材料上外延層厚度的量測。

SiC EPI量測案例

      

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技術參數(shù)

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