NanoAir™凝結粒子計數器（CPC）是美國粒子監測系統公司（PMS）推出的一款革命性新產品。它兼具凝結粒子計數器的靈敏度以及傳統潔凈室粒子計數器的易用性和功能性。專為監測超潔凈環境而設計，在2.8升/每分鐘（0.1立方英尺/每分鐘）的采樣流速下，可實現10納米檢測靈敏度。

NanoAir的尺寸比同類產品小83%，因此便于在超潔凈環境下的任何地點使用，甚至可在半導體制程機臺和設備前端模塊（EFEM）內部使用。工作流體處理系統采用創新設計，非常穩健、高效，可實現全年、全天候連續運行，無需維護或任何形式的用戶干預，因此減少了采樣和數據收集時的中斷及制程機臺停工時間。

配套提供ParticleSeeker™分流產品，其搭載10個端口，支持按順序或編程順序監測多個采樣位置的應用場景。

此外，NanoAir在選配PMS的HPD-III高壓擴散器后，與高壓氣體兼容，數據可通過PMS Facility Net設施監測軟件予以查看、分析和報送，或直接傳輸到第三方的監控和數據采集（SCADA）系統或作為制程機臺輸入值。 

特點

• 在不使用零計數減法方案的情況下，零計數<1.5個計數/立方米

• 10納米下的計數效率= 50% ± 20%，15納米下的計數效率= 100% ±      10%

• 占用面積比同類產品小83%（16.5 x 20.2 x 15.2厘米）

• 每年只需在年度校準時補充一次工作流體，在每天24小時及每周7天的全天候操作情況下，補充一次工作流體后可維持15個月

• 靈敏度：≥10納米

• 采樣流速：2.8升/每分鐘（0.1立方英尺/每分鐘）

• IP地址和位置留在基站中，可實現儀器的“熱交換”

• 4-20mA輸入（x4）&輸出（x2），用于附加傳感器（例如：溫度、相對濕度、DAP）。

• USB端口（2）：用于USB串口（服務端口）和U盤

• 以太網端口（2）：用于以太網協議和運行在TCP/IP上的MODBUS

• 上電后20分鐘即可運行

• 數據可通過PMS Facility Net設施監控軟件予以查看、分析和報送，或直接傳輸到第三方的監控和數據采集（SCADA）系統或作為制程機臺輸入值

• 按順序或編程順序監測（使用ParticleSeeker10端口采樣器）

• 兼容高壓氣體

• 適合在ISO 1級環境中使用

優勢

• 在同類產品中尺寸最小，可在最關鍵功能區的制程機臺內和擁擠的高壓氣體分配公用設施板上進行監測

• 工作流體處理系統采用創新設計，非常穩健、高效，可實現全年、全天候連續運行，無需用戶干預，防止采樣和數據收集的中斷

• 同類最佳的外部容積尺寸，為設計用于制造和制程控制應用場景的凝結粒子計數器設定了標準

• 不使用鞘氣，提供容積采樣能力

• 在運輸、處理和安裝過程中，不會出現其他凝結粒子計數器在工業場景下常見的非必要流體運移

• 無內泵或風扇；省去維護工作，消除潛在的顆粒生成

• 能夠按順序或編程順序監測多個采樣點

應用場景

• 制程區域的使用點（POU）監測

• 實時連續的粒子活動監測

• 在半導體制程機臺和前端設備模塊（EFEM）內部使用

NanoAir + ParticleSeeker （10端口采樣器）：

• 在制程機臺設備前端模塊（EFEM）的微型環境內進行監測

• 適用于需按照晶圓片或其他關鍵表面的路徑進行程序化采樣點監測的應用場景

• 大面積污染監測，最大120平方米的晶圓廠/制程空間

NanoAir + HPD-III（用于高壓惰性氣體監測）：

對惰性高壓氣體管道進行實時、連續監測，包括壓縮空氣、氮氣、氬氣和二氧化碳

可用配件

ParticleSeeker™多口氣溶膠采樣器

ParticleSeeker是NanoAir™氣溶膠納米粒子計數器所配套的一款氣溶膠分流器，其搭載10個端口，專門設計用于最關鍵的晶圓廠空間，可用于需要按順序或編程順序監測多個采樣位置的應用場景。

高壓擴散器（0.1立方英尺/每分鐘）

由于粒子計數器是為大氣壓力所設計的，因此高壓擴散器通過將壓力在40-100psi的氣體降至粒子計數器可接受的范圍，從而實現高壓氣體管道中的計數顆粒。

Facility Net軟件

Facility Net軟件提供了一項全面的環境監測解決方案，包括實時和歷史數據顯示。與美國粒子監測系統公司的粒子計數器和分子污染監測器，以及各種第三方產品兼容。