AE CESAR 0230 AE 射頻電源 Cesar 0230 2MHz 3000W
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- 公司名稱 江蘇神州半導體科技有限公司
- 品牌 Advanced Energy/優儀
- 型號 AE CESAR 0230
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2024/6/2 15:27:09
- 訪問次數 787
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| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | 60200055 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | AE | 型號 | CESAR?0230 |
| M/N | 60200055 | 頻率 | 2MHz |
| 輸出功率 | 3000W | 設備狀態 | Refurbished |
AE 射頻電源 Cesar 0230 2MHz 3000W RF Generator 是經過現場驗證的具有可靠性能和穩定輸出能力的優秀射頻發生器，在實機驗證中體現出了優秀的工藝穩定性和輸出控制能力。該型射頻電源能夠實現對射頻輸出的精準控制，廣泛應用在半導體制程濺射、CVD、PECVD、蝕刻等工藝中，且具有優秀表現。Cesar 系列射頻電源具有優秀的成膜能力，在半導體薄膜工藝中，具有成膜速度快，效率高，質量好的優點，在一定程度上能夠提升產線效率和成品良率，具有十分廣泛的應用。
AE 射頻電源 Cesar 0230 2MHz 3000W RF Generator 參數規格：
設備品牌：AE(Advanced Energy)
設別型號：Cesar 0230
AC 電源輸入：3 phase~ +PE，200V~ ，50/60Hz，20.0A
RF 射頻輸出：3000W，~615V，2MHz
通訊接口：RS-232，User Port，Matchbox，Diagnostic
設備散熱：風冷+水冷散熱
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