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化工儀器網>產品展廳>分析儀器>質譜>生物質譜/MALDI-TOF> PICOSUN™ P-300F

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PICOSUN™ P-300F

具體成交價以合同協議為準

聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


上海磊微科學儀器有限公司 成立于2015年,總部位于上海市自由貿易區,是一家集銷售、服務、技術支持及研發為一體的企業。公司主要產品為高精度的分析檢測、生產設備及相關的備件,目前已與ParkTescanPicosunInstec等優秀設備供應商建立戰略合作關系。

上海磊微銷售高精度的產品,同時培養了專業的銷售和售后服務團隊,以專業的服務獲得了廣大客戶的認可。目前,上海磊微提供的產品廣泛應用于芯片、顯示、太陽能等半導體工業領域客戶,同時服務于各大高校、科研院所,并以專業的銷售和售后服務獲得了廣大客戶的認可并建立了良好的合作關系。同時在北京、成都、深圳、合肥、煙臺等地設有服務網點。

在半導體產業發展如火如荼的今天,上海磊微伴隨著行業不斷學習、積極提升自身水平, 為越來越多的客戶提供了專業的產品和服務。今后,磊微將以不斷培育的市場為依托,以先進優質產品為核心,以高效運作的團隊為基礎,迎來更快更好的發展。我們一直秉承團結創新、嚴謹奮進的企業精神,秉承誠信務實、互利多贏的經營理念,努力為客戶、為社會提供高品質產品和服務。



原子力顯微鏡,掃描電鏡,原子層沉積ALD,探針

價格區間 面議 儀器種類 TOF
應用領域 環保,化工,能源

PICOSUN™ P-300系統已經成為高產能ALD制造業的新標準。擁有的熱壁、*獨立的前驅體管路和特殊的載氣設計, 確保我們可以生產出具有優異的成品率、低顆粒水平和的電學和光學性能的高質量ALD薄膜。高效緊湊的設計使得維護更加方便、快捷, 最大限度的減少了系統的維護停工期和使用成本。擁有專技術的Picoflow™使得在超高深寬比結構上沉積保形性薄膜更高效, 并已在生產線上得到驗證。
 

PICOSUN™ P-300F系統代表了工業化ALD工藝。這個系統是為全自動的批量生產而設計, 并與工業標準化的單片晶圓真空集群平臺相結合。 P-300F系統通過SEMI S2/S8認證,可以通過SECS/GEM整合到自動化生產線上。
 

The PICOSUN™ P-300F是IC行業創新驅動行業的選ALD系統!
 

襯底尺寸和類型

•    200 mm 晶圓 50片/批次

•     150 mm 晶圓 50片/批次

•    100 mm 晶圓 50片/批次

•    高深寬比基底(最大深寬比1:2500)

•    基底材料: Si,玻璃,石英, SiC,GaN, GaAs, LiNbO3, LiTaO3, InP

 

工藝溫度和產率

•    50 – 300°C

•    最高達到1000片/24h@15nm Al2O3薄膜

•    批量生產的平均工藝時間小于10秒/循環*

•    Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2,AlN, TiN以及各種金屬

•     同一批次薄膜不均勻性<1% 1σ

(Al2O3, WIW, WTW, B2B, 49pts, 5mm EE)**

 

基片裝載

•    全自動裝載, 帶垂直翻轉功能的真空集群設備

•    通過Picoplatform™ 200 真空集群系統進行盒 對盒批量裝載

•    可選SMIF配置

 

前驅體

•    液態、固態、氣態、臭氧源

•    源瓶余量傳感器, 提供清洗和裝源服務

•    6根獨立源管線, 最多加載12個前驅體源



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