COMET 射頻網絡匹配器 101187 RF Match 能夠實現對等離子工藝經行高性能，高可靠性和精確的控制。采用高度優化的驅動系統，具有較小的間隙，可實現優良工序間的可重復性工作。專為半導體和關鍵的薄膜應用設計，廣泛應用在半導體晶圓制程200mm/300mm行業中，FPD行業的LCD，OLED，封裝產業，以及微機電產業中3D集成TSV工藝中。

COMET 射頻網絡匹配器 101187 RF Match

DC 電源輸入：DC Input 24VDC，3.5Amax

RF 射頻輸入：3000 Watt CW，13.56MHz

RF 射頻輸出：5000 Vrms，25Arms

通訊接口：RS-232C，Analog，USB

設備散熱：風冷散熱

設備重量：12.0lb，5.4kg

COMET 101187 特點

1.在半導體和薄膜應用中性能可靠，效果理想

2.與COMET射頻電源兼容的全用戶接口

3.與COMET射頻電源兼容的脈沖

4.小巧的設計可實現廣泛調頻