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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>集成電路測試與分選設備>探針臺> QRUI-2系列探針臺

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QRUI-2系列探針臺

具體成交價以合同協議為準
產品標簽

探針臺

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上海騏銳信息科技有限公司專注于行業領域,高低溫介電常數/高低溫下電性能測試系統/工業自動化/精密儀器/航空航天高性能材料測試系統、傳感器生產與技術服務。我們以技術創新為核心驅動力,致力于為客戶提供高效、智能、定制化的設備解決方案,助力全球客戶提升生產效率、優化產品質量并實現可持續發展。

核心技術優勢:

? 研發實力

擁有一支由資深工程師、行業專家及高校科研團隊組成的復合型研發團隊,累計獲得多項發明專利及實用新型專利

? 技術亮點

自主研發核心產品技術,如:高低溫下介電常數/材料電性能高低溫測試/模塊化設備架構/能耗優化系統等。

采用數字化仿真/工業大數據分析/虛擬調試等先進技術,縮短研發周期30%以上。

? 產學研合作

與高校/科研院所名稱建立合作,共同攻關行業關鍵技術難題。

 

產品與服務體系:

?? 核心產品線

1. 智能生產線集成:面向制造業的自動化裝配、檢測及自動化測試系統。

2. 專用設備定制:材料測試系統、半導體精密加工設備、新能源電池模組封裝設備等。

3. 智能運維平臺:設備遠程監控、預測性維護及數據分析服務。

?? 服務模式

- 全生命周期支持:從需求分析、方案設計到安裝調試、售后維保的一站式服務。

 

成功案例

研發的設備型號獲獎項/認證

服務覆蓋行業領域,如:汽車制造/生物醫藥/光伏新能源頭部企業

我公司與以下國內外廠商建立了長期合作關系:日本安立公司、美國泰克Tektronix 公司、南京盛普、Sample 公司 、美國福祿克Fluke 公司、北京普源精電 、Rigol公司、美國安捷侖Agilent公司、中國臺灣茂迪Motech公司、美國艾法斯 Aeroflex公司、 中國臺灣固緯Goodwill公司、美國吉時利Keithley公司、日本巖崎Iwatsu公司、美國國家儀器NI公司、日本愛德萬 Advantest公司、美國Magtrol公司、德國惠美Hameg公司、韓國Tescom公司、安徽41所、韓國金進 Jungjin公司、常州同惠等。

 

 

電子儀器儀表 材料測試

QRUI-2系列探針臺產品簡介:

     是一款適用于4-12英寸晶圓的精密探針臺。該系列探針臺采用高剛性顯微鏡龍門設計 ,結構穩定。顯微鏡平移臺可進

行X-Y-Z方向精密位移調節 ,顯微鏡放大倍率高 ,操作方便。同時支持多種功能的升級 ,非常適合晶圓級的測試應用。該產品主要應用于集成電路/芯片/MEMS器件/管芯晶圓/LED/LCD/太陽能電池等行業的測試及研究領域。在科研單位和半導體工廠都得到了廣泛運用。


QRUI-2系列探針臺產品優勢:

     顯微鏡具備高剛性龍門支架且搭配氣動升降,保證高質量光學成像質量。 Platen三階抬桿,便于樣品和探針快速分離 ,也可以用于探針卡的扎針。可升級性強 ,最高可升級 220G 高頻 ,也可以集成光電流掃描成像或拉曼-瞬態熒光壽命成像系統等。載物臺氣浮快速移動,可快速定位測試樣品


詳細參數:

 

術參數

產品型

QRUI-2-100

QRUI-2-150

QRUI-2-200

QRUI-2-300

 

 

 

電壓電流(可定制)

500V/1A(標準)

500V/1A(標準)

500V/1A(標準)

500V/1A(標準)

材料

航空鋁

自適減震系統

具備自適應減震系統      一定程度上可防止外界震動的干擾

卡盤大小

4" ,360度轉動, 可微調

6",360 度轉動  ,可微調

8",360 度轉動,可微調

12",360 度轉動 ,可微調

卡盤行程和精度

4"*4"  ,精度 1um氣浮快速移動

6"*6"  ,精度 1um氣浮快速移動

8"*8"  ,精度  1um氣浮快速移動

12"*12  ,精度 1um氣浮快速移動

卡盤升降功能

ChuckZ軸升降10mm,精度為1um

卡盤吸附方式

真空吸附 , 可選擇環形吸附或者多孔吸附   (適用于薄片或者射頻器件)

背電極測試功能

樣品臺電學獨立懸空   4mm 香蕉頭插口

U 型平臺  ,鍍鎳  與探針座之間具備更強吸附力

升降

三階抬桿,接觸,分離和架桿;微調行程為30mm,分辨率為1um

最多可放置4~6個探針座

最多可放置8~10個探針座

 

 系統

顯微鏡成像系統

體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD 成像系統

率范圍

15X~100X/60X~420X/20X~4000X

顯微鏡行程

具備高性龍門架結構  氣動升降   XYZ 行程分別為 2 英寸*2 英寸*2 英寸  ,   精度 1um

CCD 成像系統

200 萬/500萬像素  ,幀率 60fps ,帶拍照/錄像/測量功能

DMP-200/100/80/75

X-Y-Z 行程

12mm-12mm-12mm

機械精度

0.5um/0.7um/2um/3um

電精度

10pA/100fA/20fA

接口形式

蕉頭/鱷魚夾/coax/triax接口/SMA/裸線等

屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率

力需求

220V/50HZ

詳細配置方案可討論后給




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