MKS MicroVision Plus MKS RGA 殘余氣體分析儀 MicroVision Plus
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 江蘇神州半導體科技有限公司
- 品牌 MKS/美國
- 型號 MKS MicroVision Plus
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2023/11/23 13:54:32
- 訪問次數 877
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| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 化工,電子/電池,電氣,綜合 |
|---|---|---|---|
| 型號 | MicroVision?Plus | M/N | CU:LM76?ANALYSER:MKS522 |
| 設備狀態 | Refurblished |
MKS RGA 殘余氣體分析儀 MicroVision Plus 具有高穩定性的操作和快速，寬的動態范圍掃描允許過程偏差和氣體成分的變化被立刻凸顯出來。MicroVision Plus 提供優秀的電子技術，以及可用于生產的殘余氣體分析儀器。
MicroVision Plus 具有“智能頭”技術——電子元件直接安裝在分析頭上，并通過RS232C或RS422接口直接連接到系統PC。為滿足特定的應用要求，可提供開放離子源和特高壓源。開放式離子源分析儀由不銹鋼和高純氧化鋁陶瓷制成，具有獨立可更換的雙燈絲，為更長的操作提供內置備份，沒有真空中斷。
MKS RGA 殘余氣體分析儀 MicroVision Plus 特點
1.高穩定性射頻和數據采集電子，快速預熱
2.快速，寬動態范圍掃描-快速突出工藝偏差
3.預過濾分析儀作為提高抗污染能力和提高質量靈敏度的標準
4.靈活的I/O能力，與生產工具和其他傳感器的交互
規格
質量范圍：1~100，1~200和1~300amu 標準1~6，和1~100高性能選項
MAX運行壓力：7.6 * 10-5Torr
最小可探測壓強：通道板掃描電鏡：3.8 * 10-14 Torr；單通道掃描電鏡：7.6 * 10-15Torr
質量穩定性：在環境溫度穩定的條件下，8小時內優于±0.1amu
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