半導體設備 AMC在線監測
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- 公司名稱 廣東瑞零科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2022/9/14 17:33:44
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價格區間 | 面議 | 應用領域 | 環保,綜合 |
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半導體設備 AMC在線監測,AMC為Airborne Molecular Contaminants的縮寫,從字面意義來看,是初始狀態為氣相。行為像單一分子的氣態污染物,或者說是在環境中有能力沉降于材料表面形成單分子層薄膜的化學污染物,譯為“懸浮分子污染物”或“氣載分子污染物”。簡言之,AMC就是對產品或工藝設備及其流程有不良影響的非粒子狀的懸浮化學污染物。 國際半導體設備和材料協會在SEMI F21-95,F21-1102中給出了AMC氣體的分類體系。該標準適用于半導體業的潔凈環境,4個“標準范圍”:酸(MA),堿(MB),冷凝物(MC),雜物(MD)。涵蓋所有對產品或工藝有危險的AMC,不僅適用于半導體生產,也適用于藥品生產。