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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>集成電路測試與分選設備>探針臺>KT-Z1604T-RL 鄭科探真空高低溫-196-350℃液氮探針臺

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KT-Z1604T-RL 鄭科探真空高低溫-196-350℃液氮探針臺

參考價 68000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協議為準

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真空探針臺,小型蒸鍍儀,真空加熱腔體,氣體配比器,石英管封口機

腔體材質 腔體材質?304不銹鋼 內腔體尺寸 φ160x90mm
觀察窗尺寸 Φ70mm 加熱臺尺寸 φ60mm
觀察窗熱臺間距 75mm 加熱臺溫度 -196-350℃
真空度 機械泵≤10Pa?分子泵≤10-3Pa 顯微鏡類別 物鏡
物鏡倍數 0.7-4.5倍 工作間距 90mm

探針臺主要應用于傳感器,半導體,光電,集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。

鄭科探真空高低溫-196-350℃液氮探針臺


該探針臺的承載臺為60x60不銹鋼臺面,臺面可升溫到高350℃。真空腔體設計有進氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動,三個方向均可在真空環境下精密移位調節,其中X方向調節范圍:0-30mm;y方向調節范圍:0-20mm;z方向調節范圍:0-20mm;用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對準檢測點后,即可進行檢測

該探針臺的承載臺為60x60不銹鋼臺面,臺面可升溫到350℃。真空腔體設計有進氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動,三個方向均可在真空環境下精密移位調節,其中X方向調節范圍:030mmy方向調節范圍:020mmz方向調節范圍:020mm;用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對準檢測點后,即可進行檢測

真空腔體

腔體材質

304不銹鋼

上蓋開啟

鉸鏈側開

加熱臺材質

304不銹鋼

內腔體尺寸

φ160x90mm

觀察窗尺寸

Φ70mm

加熱臺尺寸

φ60mm

觀察窗熱臺間距

75mm

加熱臺溫度

35-350

加熱臺溫控誤差

±1

真空度

機械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

允許正壓

0.1MPa

真空抽氣口

KF25真空法蘭

氣體進氣口

3mm-6mm卡套接頭

電信號接頭

SMABNC X 4

電學性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質耐壓 ≤500V

探針數量

4探針

探針材質

鎢針  

探針尖

10μm

探針移動平臺

X軸移動行程

30mm    ±15mm

X軸控制精度

0.01mm

Y軸移動行程

13mm    ±12.5mm

Y軸控制精度

0.01mm

Z軸移動行程

13mm    ±12.5mm

Z軸控制精度

0.01mm

電子顯微鏡

顯微鏡類別

物鏡

物鏡倍數

0.7-4.5

工作間距

90mm

相機

sony 高清

像素

19201080像素

圖像接口

VGA

LED可調光源

顯示屏

8

放大倍數

19-135,視場范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm

鄭科探真空高低溫-196-350℃液氮探針臺





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