1    產品簡介

傳統測量樣品反射率的反射光纖探頭光斑直徑最小僅能達到1-2mm左右，光斑直徑限制了樣品的大小以及光譜空間分辨率，而若要獲得樣品更微小的尺度的光譜信息，通常的做法是與顯微系統連用。微區反射光譜測量系統即是將光譜分析技術與顯微光路結合，可在微米級尺度上采集樣品的光譜信息，廣泛應用于物理、化學、生物等行業材料光譜性能研究。

圖1：微區反射光譜測量系統

本系統采用光纖共焦照明方式，與傳統的科勒式照明相比，共焦照明方式可獲得更小的采樣直徑，即具有更高的空間光譜分辨率。如圖所示，光源經由光纖接入顯微系統，通過顯微物鏡將光斑大小壓縮至微米級別并匯聚在樣品平面，樣品產生的反射光經由顯微系統匯聚在接收光纖端面處，發射光纖端面、接收光纖端面、成像相機平面以及樣品平面四面屬于共軛關系，從而使得可以實現高精度原位光譜測量。

圖2：微區反射測量系統原理示意圖

    此外，系統中所用到的微區反射率轉接模塊中預留一光譜通道，此通道可支持在反射率光譜基礎上拓展添加透射率測量、拉曼光譜測量或熒光光譜測量功能，實現多光譜綜合測量。

2       規格參數

3       產品特點

l  模塊設計：通過在顯微鏡中加裝拓展模塊實現光譜測量，同時可在客戶現有顯微鏡基礎上定制相應檢測模塊。

l  共焦設計：光源光路與光譜儀接收光路共軸，*的共焦設計使得測量“所見即所得”，并且系統的雜散光可以得到有效抑制。

l  寬光譜檢測范圍：搭配如海光電的光纖光譜儀，可實現200~2500nm寬光譜測量。

l  靈活選配與升級：該系統除可實現反射測量外，同時可根據客戶需求在此基礎上添加特定測量模塊從而實現反射+透射+拉曼+熒光多光譜測量。

l  高精度測量：自動移動平臺最小步進1μm，可實現微小區域光譜掃描測量。

4       測試實例圖