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KT-C4ZS DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司是集開發(fā)、制造、經(jīng)營為一體的材料創(chuàng)新型企業(yè),如今公司的產(chǎn)品已經(jīng)遍布國內(nèi)大多數(shù)實驗室 及*校,科探儀器已經(jīng)成為老師 同學(xué)歡迎和信任的品牌之一

公司以科技創(chuàng)新為主,服務(wù)社會為宗旨,積極設(shè)計開發(fā)新型材料制備設(shè)備,奉獻于教育和科學(xué),經(jīng)過長期的研發(fā)和不斷地技術(shù)積累,擁有熱工,制造,控制相關(guān)技術(shù)10余項,為化學(xué),物理,材料,電子,高分子工程,新材料制備和研發(fā)領(lǐng)域的科學(xué)研究提供了精良設(shè)備。公司通過和院校老師 同學(xué)強強聯(lián)合,形成了有效的信息,技術(shù)交流平臺,為科探儀器了解市場需求提供了強有力的支持!。

目前公司已研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品十多個系列幾十款產(chǎn)品,產(chǎn)品囊括實驗電爐、CVD供氣系統(tǒng)、等離子清洗機、小型離子濺射儀、小型蒸鍍儀等,主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究,廣銷于各大院校,及材料研究所。

公司與國內(nèi)高校,科研院所有多層次的合作關(guān)系,建有開放實驗室,相關(guān)領(lǐng)域的教授、高級工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念,依靠嚴(yán)謹(jǐn)?shù)募夹g(shù)研發(fā)能力,科學(xué)合理的生產(chǎn)工藝,精益求精的制造要求,全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作,科探儀器時刻懷著一顆真誠的心期待與您的合作。










實驗室設(shè)備 真空設(shè)備 儀器儀表 電子元器件 五金交電實驗室設(shè)備安裝

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 產(chǎn)品種類 其他
價格區(qū)間 面議 介質(zhì)分類 氣體
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子/電池

DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器

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DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器是針對半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)的一款適用于半導(dǎo)體裝備的氣體質(zhì)量流量控制器,用于半導(dǎo)體器件的刻蝕、濺射等工藝。DS300采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù)和高精度壓電閥控制技術(shù)使產(chǎn)品具有零漂小,精度高,響應(yīng)速度快,壓力不敏感的特點,產(chǎn)品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬,金屬表面狀況符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的要求。

DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器

• 控制精度高,精度可達±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
• 響應(yīng)速度快,響應(yīng)時間≤ 0.5sec。
• 采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù),使產(chǎn)品具有壓力不敏感特性,能夠適用較大的氣源壓力波動。
• DS300采用有效的機械加工技術(shù)與表面處理技術(shù)解決深小孔不能或者很難電拋光(EP)的難題,實現(xiàn)孔徑相對較小(孔徑<1mm)、深徑比相對較大(>10)的不銹鋼小孔、深盲孔以及交叉孔的表面電化學(xué)拋光處理,*符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)要求。

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技術(shù)參數(shù)

DS300C

類型

DS300C

閥類型

常閉

流量規(guī)格(N2)

(0~30,50,100,200,300,500)  SCCM
(0~1,2,3,5,10)            SLM

準(zhǔn)確度

±1% S.P. (≥10% F.S.)       
±1% F.S. (<10% F.S.)       

線性

±0.5% F.S.

重復(fù)精度

±0.2% F.S.

響應(yīng)時間

≤ 0.5sec            

進口壓力

240~450KPa 流量規(guī)格≤5SLM
350~450KPa  流量規(guī)格>5SLM

出口壓力

≤1.2KPa    流量規(guī)格≤5SLM
≤13.3KPa  流量規(guī)格>5SLM

溫度系數(shù)

零點:≤±0.02% F.S./℃;
調(diào)節(jié)時:≤±0.1% F.S./℃

耐壓

3 MPa

漏率

1×10-11 Pa·m3 / sec He

密封材料

金屬密封

最大工作壓力

0.45MPa

工作環(huán)境溫度

(10~45)℃

輸入信號

數(shù)字:RS485 或 DeviceNet
模擬:(0~5)VDC

輸出信號

數(shù)字:RS485 或 DeviceNet  
模擬:(0~5)VDC

零漂

在沒有零點校正時<0.6%F.S./年

電源

±8~±16 VDC (雙極) 或 +14~+28 VDC (單極)

表面化學(xué)成分

Cr/Fe比例≥2.0;
CrO 厚度≥20 (埃)

表面粗糙度

Ra  5μinch

標(biāo)準(zhǔn)接頭形式

VCR1/4陽接頭;
1.125″C型密封接頭;
1.125″W型密封接頭;
Compression Fittingφ6

電源接頭形式

D型9針陽接頭;
D型15針陽接頭;
DeviceNet接頭

重量

1.2Kg

 




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