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P7 P-7臺階儀/輪廓儀

具體成交價以合同協議為準

聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


北京中海遠創材料科技有限公司,專業負責KLA(科磊半導體)微納米力學測試系統(納米壓痕儀、SEM原位壓痕儀、拉伸儀等)、探針式臺階儀、形貌儀、三維光學輪廓儀等設備技術的銷售和技術應用服務工作。

KLA公司是世界工藝控管與良率管理解決方案的提供商,與世界各地的客戶合作開發*的檢測和量測技術,并且將這些技術致力于*材料、物理、微器件、半導體、LED 及其他相關微納研究和生產領域。憑借行業標準的產品組合和優秀的工程師及科學家團隊,近 40 年來公司持續為客戶打造滿意的解決方案。

北京中海遠創材料科技有限公司是KLA微納米力學測試系統、SEM/FIB原位納米力學測試系統、探針式臺階儀、三維光學輪廓儀等設備的渠道商,服務范圍遍及全國各地。微納力學測試系統包括業內聲譽很高應用很廣泛的G200、iMicro、iNano型納米壓痕儀,T150型納米拉伸儀,以及常溫和高溫原位納米壓痕儀等等。KLA公司新研發的G200X型納米壓痕儀在G200型的基礎上又增加了一些新功能,使設備的性價比又提高了一個新臺階。輪廓儀系統包括*的Zeta系列,P系列、D系列等產品。

我公司擁有一支專業誠信的技術、銷售、管理團隊,有著豐富的從業經驗,自公司創立以來,在科研、生產等多個領域為客戶提供了有競爭力的產品和技術服務。

我們始終秉承服務至上的宗旨,依托專業化的團隊、全國性的營銷網絡和有影響力的品牌,在不斷優化服務質量、擴大市場輻射范圍的同時,為客戶提供更全面的服務。


納米壓痕儀,臺階儀,輪廓儀,探針臺,高速相機

產地類別 進口 價格區間 面議
應用領域 電子/電池,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件,電氣

KLA是半導體在線檢測設備市場較大的供應商,在半導體、數據存儲、 MEMS 、太陽能、光電子以及其他域中有著不俗的*。P-7臺階儀/輪廓儀是KLA公司的第八代探針式臺階儀系統,歷經技術積累和不斷迭代更新,集合眾多技術優勢。 P-7臺階儀/輪廓儀建立在市場先的P-17臺式探針輪廓分析系統的成功基礎之上。 它保持了P-17技術的測量性能,并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了好的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達150mm而無需圖像拼接。從可靠性表現來看, P-7具有較好的測量重復性。UltraLite®傳感器具有動態力控制,良好的線性,和精準的垂直分辨率等特性。友好的用戶界面和自動化測量可以適配大學、研發、生產等不同應用場景。



       




   二、 功能

   設備特點

   臺階高度:幾納米至1000um

   微力恒力控制:0.03mg至50mg

   樣品全直徑掃描,無需圖像拼接

   視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像機

   圓弧矯正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差

   生產能力:通過測序,模式識別和SECS/GEM實現全自動化

   主要應用

   薄膜/厚膜臺階

   刻蝕深度測量

   光阻/光刻膠臺階

   柔性薄膜

   表面粗糙度/波紋度表征

   表面曲率和輪廓分析

   薄膜的2D Stress量測

   表面結構分析

   表面3D輪廓成像

   缺陷表征和分析

   其他多種表面分析功能

   三、應用案例

·    臺階高度

   P-7可以提供納米到1000μm的2D和3D臺階高度的測量。 這使其能夠量化在蝕刻,濺射,SIMS,沉積,旋涂,CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。P-7具有恒力控制功能,無論臺階高度如何都可以動態調整并施加相同的微力。這保證了良好的測量穩定性并且能夠測量諸如光刻膠的軟性材料。


   紋理:粗糙度和波紋度

   P-7提供2D和3D紋理測量并量化樣品的粗糙度和波紋度。軟件濾鏡功能將測量值分為粗糙度和波紋度部分,并計算諸如均方根(RMS)粗糙度之類的參數。

   外形:翹曲和形狀

   P-7可以測量表面的2D形狀或翹曲。這包括對晶圓翹曲的測量,例如半導體或化合物半導體器件生產中的多層沉積期間由于層與層的不匹配是導致這種翹曲的原因。P-7還可以量化包括透鏡在內的結構高度和曲率半徑。


   應力:2D和3D薄膜應力

   P-7能夠測量在生產包含多個工藝層的半導體或化合物半導體器件期間所產生的應力。 使用應力卡盤將樣品支撐在中性位置并精確測量樣品翹曲。然后通過應用Stoney方程,利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計算應力。2D應力通過在直徑達200mm的樣品上通過單次掃描測量,無需圖像拼接。3D應力的測量采用多個2D掃描,并結合θ平臺在掃描之間的旋轉對整個樣品表面進行測量。


   缺陷復檢

   缺陷復查用于測量如劃痕深度之類的缺陷形貌。缺陷檢測設備找出缺陷并將其位置坐標寫入KLARF文件?!叭毕輳蜋z”功能讀取KLARF文件、對準樣本,并允許用戶選擇缺陷進行2D或3D測量。



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