此款C30質(zhì)量流量控制器是經(jīng)濟(jì)基礎(chǔ)型，量大價格可議，支持定制。

概要

C30經(jīng)濟(jì)型氣體質(zhì)量流量控制器和C30M型氣體質(zhì)量流量計采用毛細(xì)鋼管傳熱和溫差量熱原理測量氣體的質(zhì)量流量，其中質(zhì)量流量控制器可以對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精確的控制。由于溫差量熱只和氣體的質(zhì)量流量相關(guān)，所以氣體的溫度和壓力變化不會影響到測量值。

本型號產(chǎn)品的滿量程可以在 5SCCM到 10SLM的范圍內(nèi)任意定制。

特點(diǎn)

穩(wěn)定性和可靠性高

±0.2％F.S.的高重復(fù)精度

滿量程可以在 5SCCM到 10SLM的范圍內(nèi)任意定制

可應(yīng)用于大多數(shù)腐蝕性氣體

同類產(chǎn)品尺寸最小

安裝尺寸國際兼容

應(yīng)用

          真空鍍膜設(shè)備

微反應(yīng)裝置

晶體制備設(shè)備

混氣配氣設(shè)備

燃燒測試設(shè)備

氣相色譜儀及其它分析儀器

     標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)                      

標(biāo)定氣體：氮?dú)?N2)

       標(biāo)定溫度和壓力：  溫度—273.15 K（0℃）

                            氣壓—101325 Pa（760mm Hg）

輸入輸出信號

0～+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA)

流量規(guī)格(N2標(biāo)定)

0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

0～1,2,3,5,10,20,10SLM

注：滿量程流量不限于此處列出的流量規(guī)格，可以在5SCCM～10SLM范圍內(nèi)任選，例如123SCCM。