RTS-8數字式四探針測試儀

是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。

    儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數據既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統計分析顯示測試結果。

    儀器采用了最新電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。

    本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。

 RTS-8數字式四探針測試儀技　術　指　標 ：

 測量范圍       電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴展)； 

 方塊電阻：10-4～106 Ω/□(可擴展)；

 電導率：10-5～105 s/cm；

 電阻：10-5～105 Ω；

可測晶片直徑         140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；

 200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；

 400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；

恒流源     電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續可調

數字電壓表     量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　

 分辨力：10μV；

 輸入阻抗：>1000MΩ；

 精度：±0.1% ；

 顯示：四位半紅色發光管數字顯示；極性、超量程自動顯示；

四探針探頭基本指標     間距：1±0.01mm；

 針間絕緣電阻：≥1000MΩ；

 機械游移率：≤0.3%；

 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；

 探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應用參數     (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差

( 按JJG508-87進行)      0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整機測量最大相對誤差         (用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

整機測量標準不確定度         ≤5%

測試模式         可連接電腦測試也可不連接電腦測試

軟件功能（選配）         軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數據，并統計分析測試數據最大值、最小值、平均值、最大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數據生成直方圖，也可把測試數據輸出到Excel中，對數據進行各種數據分析。軟件還可選擇自動測量功能，根據樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。

計算機通訊接口     并口，高速并行采集數據，連接電腦使用時采集數據到電腦的時間只需要1.5  秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時）。

標準使用環境         溫度：23±2℃；

 相對濕度：≤65%；

 無高頻干擾；

 無強光直射；

配置 四探針測試儀主機、探針臺、四探針探頭