自動/手動
   本設備為浸泡式清洗機，用于擴散、外延等設備的石英管，碳化硅管的清洗 
 ⑴ 整臺設備采用進口磁白色聚丙板（PP）搭配進口焊接設備焊接而成。
 ⑵ 設備分為兩個清洗槽，內槽為酸洗槽，外槽為水洗槽，內外槽均裝
   在隔離槽內，與底部和周圍隔離。 
 ⑶ 隔離槽底部傾斜式，底處設有排水管，隔離槽后設有排氣裝置。
 ⑷清洗槽左右兩端設有進口純水噴槍和氮氣噴槍。
 (5）內設照明裝置。

特征：
  1.全自動PLC控制，可設觸摸屏操作面板。
  2.自動，手動互換操作功能，可儲存多套工藝程序。
  3.溫度數字顯示控制指示器。
  4.故障自動報警及診斷功能。
  5.多臂式位移組合機械手。
  6.清洗槽四面溢水，高精度循環過濾裝置，液位保護控制。
  7.全封閉頂部排風系統。
  8.步進或伺服電機，氣動提送，精準可靠。
  9.超聲波頻率：25KHZ,28KHZ，40KHZ，68KHZ