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VTC-600-3HD 三靶磁控濺射儀

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上海添時科學儀器有限公司是一家代理國內外儀器的經銷及技術服務的專業公司。國內管式爐,退火爐,氣氛爐,真空感應熔煉爐,箱式爐,手套箱,研磨拋光機,電池測試恒溫箱,金剛石線切割機,磁控濺射儀,蒸發鍍膜,PECVD設備供應商!

公司所涉及的產品遍布大專院校、科研單位、工廠企業、商檢、農業、食品、超市、治金礦山、建筑、石油、路橋等行業。

主要產品:生命科學儀器,化學分析儀器,光學儀器,物性測試儀器及設備,環保設備/流量儀表,行業專用儀器,藥物檢測儀器,種子儀器,農業和食品儀器,石油儀器,煤炭儀器,測繪儀表,建筑儀器,公路儀器,地質儀器,電工儀器儀表,自動化儀表,氣象儀器,環保儀器,電教器材,無線電儀器,小型機械等。并且提供與生物技術相關的實驗室科研儀器設備、實驗室耗材與試劑、實驗室設計、規劃、改建等服務。公司以“高品質,高服務,高信譽”贏得各地市場,各個領域的好評和歡迎。

未來,公司將引進和代理更多國內產品,并將研發自有品牌的產品以滿足市場不同的需求,以更高質量的產品,更高質量的服務,更高效率的運營,樸素而先進的管理理念,為客戶提供更優良的產品和服務!

公司宗旨:客戶至上 誠信為本 開拓創新 成就*




紫外可見分光光度計,原子熒光光度計,原子吸收分光光度計,紫外分光光度計,氣相色譜儀,液相色譜儀,電子天平,旋光儀,熔點儀

應用領域 醫療衛生,環保,化工,生物產業,電子/電池
    三靶磁控濺射儀主要特點:

    1、配置三個靶槍,一個配套射頻電源用于非導電靶材的濺射鍍膜,兩個配套直流電源用于導電性材料的濺射鍍膜(靶槍可以根據客戶需要任意調換)。

    2、可制備多種薄膜,應用廣泛。

    3、體積小,操作簡便。

    4、整機模塊化設計,真空腔室、真空泵組、控制電源分體式設計,可根據用戶實際需要調整。

    5、可根據用戶實際需要選擇電源,可以一個電源控制多個靶槍,也可多個電源單一控制靶槍。

    技術參數:

產品名稱 VTC-600-3HD雙靶磁控濺射儀
產品型號
VTC-600-3HD
安裝條件 本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:設備配有自循環冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)
2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地
3、氣:設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)及減壓閥
4、工作臺:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上
5、通風裝置:需要
主要參數
1、電源電壓:220V  50Hz
2、總功率:<2.5KW
3、極限真空度:< E-6mbar(配合本公司設備使用可達到 E-5mbar)
4、工作溫度:RT-500℃,精度±1℃(可根據實際需要提升溫度)
5、靶槍數量:3個
6、靶槍冷卻方式:水冷
7、靶材尺寸:Ø2″,厚度0.1mm-5mm(因靶材材質不同厚度有所不同)
8、直流濺射功率:500W(可選)
9、射頻濺射功率:300W/500W(可選)
10、載樣臺:Ø140mm,可根據客戶需求選配加裝偏壓功能,以實現更高質量的鍍膜。
11、載樣臺轉速:1rpm-20rpm內可調
12、保護氣體:Ar、N2等惰性氣體
13、進氣氣路:質量流量計控制2路進氣,1個流量為100 SCCM,1個流量為200 SCCM

產品規格

主機尺寸:500mm×560mm×660mm,
整機尺寸:1300mm×660mm×1200mm;
重量:160kg

標準配件 1直流電源控制系統2套
2射頻電源控制系統1套
3膜厚監測儀系統1套
4分子泵(德國進口)1臺
5冷水機1臺
6冷卻水管(Ø6mm)4根
可選配件

金、銦、銀、鉑等各種靶材
掩膜版
振動樣品臺

 

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