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化工儀器網>產品展廳>行業專用儀器及設備>其它行業專用儀器>其它專用儀器>EVG 301 Wafer Cleaning EVG 301 單晶圓清洗系統

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EVG 301 Wafer Cleaning EVG 301 單晶圓清洗系統

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 EVG 301 Wafer Cleaning
  • 產地 奧地利
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2024/9/25 16:44:21
  • 訪問次數 705

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公司自成立以來就一直專注于半導體、微組裝和電子裝配等領域的設備集成和技術服務;目前公司擁有一支在半導體制造、微組裝及電子裝配等領域經驗豐富的專業技術團隊,專業服務于混合電路、光電模塊、MEMS、先進封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設備,還能根據客戶的實際生產需求制訂可行的工藝技術方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導體制造設備企業建立了良好的合作關系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進的設備和專業的技術服務打下了堅實基礎。

 

半導體設備,微組裝設備,LTCC設備,化工檢測設備

產地類別 進口 應用領域 電子/電池

EVG 301  Single Wafer Cleaning System

EVG 301  單晶圓清洗系統

 

研發型單晶圓清洗系統

 

EVG301半自動化單晶片清洗系統采用一個清洗站,該清洗站使用標準的去離子水沖洗以及超音速,毛刷和稀釋化學藥品作為附加清洗選項來清洗晶片。

EVG301具有手動加載和預對準功能,是一種多功能的RD型系統,適用于靈活的清潔程序和300 mm的能力。

EVG301系統可與EVG的晶圓對準和鍵合系統結合使用,以消除晶圓鍵合之前的任何顆粒。旋轉夾頭可用于不同的晶圓和基板尺寸,從而可以輕松設置不同的工藝。

 

特征

使用1 MHz的超音速噴嘴或區域傳感器(可選)進行高效清潔

單面清潔刷(選件)

用于晶圓清洗的稀釋化學品

防止從背面到正面的交叉污染

*由軟件控制的清潔過程

 

選件

帶有紅外檢查的預粘接臺

SEMI標準基材的工具

技術數據

晶圓直徑(基板尺寸)200100-300毫米

清潔系統:開室,旋轉器和清潔臂

腔室:由PPPFA制成(可選)

清潔介質:去離子水(標準),其他清潔介質(可選)

旋轉卡盤:真空卡盤(標準)和邊緣處理卡盤(選件),由不含金屬離子的清潔材料制成

 

旋轉:zui3000 rpm5秒內)

超音速噴嘴:頻率:1 MHz3 MHz選件)




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