Centrotherm Activator150 高溫退火爐系統
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 Centrotherm Activator150
- 產地 德國
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/9/25 16:11:06
- 訪問次數 1330
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| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 石油,能源,電子/電池 |
|---|
Centrotherm 高溫退火爐系統-Activator 150
一、產品簡介
Centrotherm Activator 150 高溫爐設計用于SiC或GaN器件注入后退火。Centrotherm*工藝爐管和加熱系統設，允許工藝溫度達到 1850 ℃。
此外，Activator 150 系列的產品可以實現生長石墨烯生長。通過碳化硅升華生長石墨層可以獲得高性能器件。
Centrotherm 新一代SiC工藝爐管的研發用以滿足新興的150 毫米 SiC工藝。
Centrotherm Activator 150-5 是為研發工作而特制的，而Centrotherm Activator 150-50專為大批量生產設計。
廣泛的工藝范圍實現了對自定義化程序的優化, 例如溫度, 氣路系統和壓力。
二、典型應用
SiC器件高溫退火 （注入后）
GaN器件退火
大面積石墨烯生長
SiC表面制備
三、產品特性
性能和優勢
高活化
小表面粗糙度
最大溫度可達 1850 ℃
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