NE-550EX 刻蝕機
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 青島泰斯邁儀器設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 NE-550EX
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2021/8/23 9:20:09
- 訪問次數(shù) 237
產(chǎn)品標(biāo)簽
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源 |
|---|
特長
·通過磁場輔助，可以產(chǎn)生比其他ICP方式低壓力、低電子溫度、高密度等離子體，從離子性蝕刻到自由基性蝕刻，可以進行寬范圍的等離子體控制，因此可以對應(yīng)于作為開發(fā)tool的多用過程。
·搭載了防止RF投入窗的沉積物附著的“Star電極”。另外，具有加熱功能，重視再現(xiàn)性和穩(wěn)定性的裝置概念。
·實現(xiàn)作為高可靠性輸送機器人、裝置構(gòu)造簡單、維護簡單等研究開發(fā)Tool的可靠性。
·還可以追加豐富的可選功能和暗盒室。
·面向批量生產(chǎn)線，推出了由同一個Chamber構(gòu)成的支持多個Chamber的NE-5700、NE-7700。
用途
·化合物材料（LED、LD、高頻器件和功率器件）。
·電極加工、金屬布線、有機膜、陶瓷等加工。
·用于加工鐵電體、貴金屬、磁性膜等難蝕刻材料。
·納米壓印、NEMS、MEMS、各種傳感器。
·生物芯片、微流體裝置、光子晶體等。
采購中心
化工儀器網(wǎng)