全自動/軌道式去膠剝離機
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- 公司名稱 上海添時科學儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2025/7/6 20:27:35
- 訪問次數 3406
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應用領域 | 電子/電池 | 設備配置 | 1套浸泡單元、1套剝離單元 |
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浸泡模塊處理晶圓數量 | 25片 | 剝離單元主軸旋轉速度范圍 | 20-3000rpm |
加速度范圍 | 20-5000rpm/s | 剝離噴嘴類型 | 高壓或扇形噴嘴 |
設備尺寸 | 1500mm(W)x1200mm(D)x1800mm(H) |
全自動/軌道式去膠剝離機
產品介紹
適用于8英寸及以下規格晶圓的去膠剝離工藝(Liftoff工藝)
不銹鋼柜體,觸摸式人機交互界面
耐腐蝕透明觀察窗,配置專業排風及排廢系統
8寸以下化合物(鉭酸鋰等)全自動去膠剝離工藝處理
適合聲表濾波器(SAW)行業產能要求適中的批量產線
可選配MES協議轉換模塊
產品參數
white:
設備配置:1套浸泡單元、1套剝離單元
浸泡模塊處理晶圓數量:25片
剝離單元主軸旋轉速度范圍:20-3000rpm
加速度范圍:20-5000rpm/s
剝離噴嘴類型:高壓或扇形噴嘴
設備尺寸:1500mm(W)x1200mm(D)x1800mm(H)