| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 化工 |
|---|---|---|---|
| 外形尺寸 | W560?x?D600?x?H860mm | 電源 | AC230?V?/?16?A |
| 真空泵 | 排氣速度不小于4m3/H,?極限真空度小于10Pa | 工藝氣路 | 單路，雙路，三路 |
| 工藝氣體 | O2，Ar，N2，CO2，H2（CF4,SF6，NH3）*1 |
diener真空等離子清洗機/低壓等離子系統，適用于等離子清洗、活化、蝕刻及涂層
德國Diener electronic成立于1993年，是一家專門研發和制造低溫低壓等離子清洗機、等離子射頻電源和大氣（常壓）等離子清洗機的高科技企業。
diener真空等離子清洗機用途：
·適用6寸以下樣品的處理
·用于硅片、玻璃、塑膠材料表面的處理
·配置自動/手動模式，實現控制高機能
·桌上型，省空間
·適合于研究院、高校、研發中心使用
特點：
表面清洗活化
表面蝕刻
可以更靈活地操作，簡便地改變處理氣體的種類和處理程序；不會對操作人員的身體造成任何傷害；其成本對于等離子處理方法來說是微不足道的。
參數：
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