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AP250 / AP500 日本ace適用于半導(dǎo)體制造工藝的壓力控制器

參考價(jià)4560-500000/件
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 秋山科技(東莞)有限公司
  • 品牌其他品牌
  • 型號(hào)AP250 / AP500
  • 所在地東莞市
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間2025/5/3 17:17:25
  • 訪問(wèn)次數(shù) 2019
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壓力控制器

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應(yīng)用領(lǐng)域 化工,石油,電子/電池,鋼鐵/金屬,制藥/生物制藥

日本ace適用于半導(dǎo)體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500

 

AP250和AP500是適用于半導(dǎo)體制造工藝等中使用的清潔氣體壓力控制的大流量型控制器,由氣壓控制單元(相當(dāng)于AP100N)和圓頂型調(diào)節(jié)器單元組成。

 

 此外,外部安裝有壓力傳感器,來(lái)自傳感器的信號(hào)輸入到氣壓控制單元,氣壓控制組的閥被開(kāi)/關(guān)控制,以調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)器中球罩的內(nèi)部壓力自動(dòng)調(diào)節(jié)以匹配任何設(shè)定的壓力值。通過(guò)將流量傳感器安裝到外部,它也可以用作流量控制器。

 

 AP250的最大控制流量為5001 / min,AP500的最大控制流量為2000L / min,兩種類型的最大控制壓力約為600kPa。

 

 壓力接頭與適用于AP250的1/2“ VCR和適用于AP500的3/4” SWAG等效或等同于用于AP500的3/4“ VCR等效。適用于真空清潔氣體,用于導(dǎo)體,惰性氣體,腐蝕性氣體,危險(xiǎn)氣體等可以使用。

日本ace適用于半導(dǎo)體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500

規(guī)格

模型AP250AP500
主要用途對(duì)于FPD,燃料電池對(duì)于FPD,燃料電池
目標(biāo)氣體N2,空氣,H2等N2,空氣,H2等
入口壓力999kPa以下999kPa以下
耐壓小于1500kPa小于1500kPa
壓力設(shè)定用顯示設(shè)定裝置設(shè)定用顯示設(shè)定裝置設(shè)定
控制方式圓頂內(nèi)部的氣動(dòng)控制圓頂內(nèi)部的氣動(dòng)控制
控制壓力0-500kPa0-500kPa
最大流量500L /分鐘2000L /分鐘
響應(yīng)時(shí)間1秒鐘達(dá)到設(shè)定值1秒鐘達(dá)到設(shè)定值
輸入信號(hào)0-5 VDC連續(xù)/關(guān)閉0-5 VDC連續(xù)/關(guān)閉
RS485RS485
外部傳感器輸入(4至20mA標(biāo)準(zhǔn))(4至20mA標(biāo)準(zhǔn))
輸出信號(hào)報(bào)警輸出,RS485報(bào)警輸出,RS485
管件相當(dāng)于1/2英寸的VCR或相當(dāng)于1/2英寸的世偉洛克相當(dāng)于3/4英寸的VCR或相當(dāng)于3/4英寸的世偉洛克
閥座泄漏10-5Pa ? m3 /秒以下10-5Pa ? m3 /秒以下
準(zhǔn)確性取決于壓力傳感器的規(guī)格取決于壓力傳感器的規(guī)格
電源電壓24VDC±10%24VDC±10%
目前的消費(fèi)200mA以下200mA以下
工作溫度0-50℃無(wú)凝結(jié)0-50℃無(wú)凝結(jié)
面之間的外部尺寸寬70×深145×高124mm寬80×深178×高170mm
壓力傳感器無(wú)(外部)無(wú)(外部)
顯示設(shè)定裝置是(可以單獨(dú)安裝)是(可以單獨(dú)安裝)


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