YAMATO等離子灰化機，PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制（PR500/510）

低溫等離子的經典款非常具有歷史性。采用自動協調功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。

用途：

• 去除光刻膠
• 部品清洗
• 界面活性處理
• 微研磨
• 硅晶圓，玻璃基板對應

特征：

• 大口徑（Φ215mm）石英反應腔
• 小型一體化設計

操作簡單的觸摸屏方式（PR510型）

技術參數：

PR200/300/301，從樣品表面改質到清洗的小型臺式等離子清洗機。

 用途：

• YAMATO等離子灰化機高分子材料表面的官能基付與→粘合性、密著性提高。通過氧化反應，在表面生成-OH，＞C=O，-COOH等官能基（微量的水分及二氧化碳影響）。同樣在氮氣等離子體中，氮原子被吸收在表面中，生成-NH 2等官能基。
• 硅晶圓蝕刻。
• 材料表面改性（金屬、聚合物、薄膜、陶瓷等）。
• 石棉預處理（膜過濾灰化）。
• 從電子設備到生化市場。
• 低溫灰化（高分子材料、煤炭、食品等）。
• 使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片。
• 表面有機物去除。

特點：

• RF為200 W的高性能輸出類型（PR200）。
• 由于是尺寸緊湊的臺式機，很小的位置都可以安裝。
• 同步，自動調諧，操作簡單（PR200）。
• 等離子體反應器（灰化設備）（PR200）。
• 同步、自動調諧（PR200）。

技術參數：