| 背散射電子圖像分辨率 | 4 nm @ 30 kV | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 二次電子圖象分辨率 | 3 nm @ 30 kVnm | 放大倍數 | 1-300,000x（底片倍率） 1-1000,000x（屏幕倍）x |
| 加速電壓 | 0.2 kV～30 kVkV | 價格區間 | 50萬-100萬 |
| 儀器種類 | 鎢燈絲 | 應用領域 | 醫療衛生,化工,生物產業,電子/電池 |
鎢燈絲掃描電子顯微鏡SEM3200
國產電鏡鎢燈絲掃描電子顯微鏡SEM3200是一款高性能、應用廣泛的通用型鎢燈絲掃描電子顯微鏡。擁有出色的成像質量、可兼容低真空模式、在不同的視場范圍下均可得到高分辨率圖像。
大景深，成像富有立體感。豐富的擴展性，助您在顯微成像的世界中盡情探索。
產品特點（*為選配件）
鎢燈絲掃描電子顯微鏡特色功能
豐富拓展性
掃描電子顯微鏡不僅局限于表面形貌的觀察，更可以進行樣品表面的微區成分分析。
SEM3200接口豐富，除支持常規的二次電子探測器（ETD）、背散射電子探測器（BSED）、X射線能譜儀（EDS）外，也預留了諸多接口，如電子背散射衍射（EBSD）、陰極射線（CL）等探測器都可以在SEM3200上進行集成。
背散射電子探測器
二次電子成像和背散射電子成像對比
背散射電子成像模式下，荷電效應明顯減弱，并且可以獲得樣品表面更多的成分信息。
應用案例
國產掃描電鏡產品參數
| 型號 | SEM3200A | SEM3200 | ||
|---|---|---|---|---|
| 電子光學系統 | 電子槍類型 | 預對中型發叉式鎢燈絲電子槍 | ||
| 分辨率 | 高真空 | 3 nm @ 30 kV（SE） | ||
| 4 nm @ 30 kV（BSE） | ||||
| 8 nm @ 3 kV（SE） | ||||
| *低真空 | 3 nm @ 30 kV（SE） | |||
| 放大倍率 | 1-300,000x（底片倍率） | |||
| 1-1000,000x（屏幕倍） | ||||
| 加速電壓 | 0.2 kV～30 kV | |||
| 成像系統 | 探測器 | 二次電子探測器（ETD） | ||
| 背散射電子探測器、低真空二次電子探測器、*能譜儀EDS等 | ||||
| 圖像保存格式 | TIFF、JPG、PNG | |||
| 真空系統 | 真空模式 | 高真空 | 優于5×10-4 Pa | |
| 低真空 | 5～1000 Pa | |||
| 控制方式 | 全自動控制 | |||
| 渦輪分子泵 | ≥ 240 L/S | |||
| 機械泵 | 200 L/min （50 Hz） | |||
| 樣品室 | 攝像頭 | 光學導航 | ||
| 樣品倉內監控 | ||||
| 樣品臺配置 | 三軸自動 | 五軸自動 | ||
| 行程 | X: 120 mm | X: 120 mm | ||
| Y: 115 mm | Y: 115 mm | |||
| Z: 50 mm | Z: 50 mm | |||
| / | R: 360° | |||
| / | T: -10°～ +90° | |||
| 軟件 | 語言 | 中文 | ||
| 操作系統 | Windows | |||
| 導航 | 光學導航、手勢快速導航 | |||
| 自動功能 | 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散 | |||
| 特色功能 | 智能輔助消像散、*大圖拼接（選配軟件） | |||
| 安裝要求 | 房間 | 長 ≥ 3000 mm，寬 ≥ 4000 mm，高 ≥ 2300 mm | ||
| 溫度 | 20 ℃～25 ℃ | |||
| 濕度 | ≤ 50 % | |||
| 電氣參數 | 電源AC 220 V(±10 %)，50 Hz，2 kVA | |||
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