| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 100萬-150萬 |
|---|---|---|---|
| 檢測限 | 5ppb | 應用領域 | 化工,電子/電池,鋼鐵/金屬,航空航天,電氣 |
| 質量數范圍 | 510amu | 最小檢測分壓 | 5E-14 mbar |
20年前，Hiden在期刊《Physics Today》今日物理學雜志發布了HPR-80腐蝕性氣體分析質譜儀，初期主要應用于半導體行業的特氣檢測，如毒性氣體AsH3、B2H6、PH3等，強腐蝕性氣體如如HCI、HF、CIF3等，強氧化性氣體如CIF3、NF3等。
20年來，Hiden在這一細分領域具有強大的產品力，針對不同程度的腐蝕氣體分析，提供不同的解決方案。
HPR-80腐蝕性氣體分析質譜儀非常適用于分析腐蝕性氣體，HF，HCl，HBr和鹵代烴氣體工藝產生的反應產物。
主要特點：
1、連接件電拋光工藝處理
2、取樣壓力：1mTorr to 1000Torr
3、高靈敏度三級過濾四極桿
4、檢測限可達 5 ppb
5、QGA專業版定量分析軟件
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