1、功能范圍：

可對各類型Si·二極管、Si·MOSFET、Si·IGBT和SiC·二極管、SiC·MOSFET、SiC·IGBT等分立器件的各項動態參數如開通時間、關斷時間、上升時間、下降時間、導通延遲時間、關斷延遲時間、開通損耗、關斷損耗、柵極總電荷、柵源充電電量、平臺電壓、反向恢復時間、反向恢復充電電量、反向恢復電流、反向恢復損耗、反向恢復電流變化率、反向恢復電壓變化率、集電極短路電流、輸入電容、輸出電容、反向轉移電容、柵極串聯等效電阻、雪崩耐量進行測試。

2、環境要求

1、環境溫度：15—40℃

2、相對濕度：存放濕度不大于70%

3、大氣壓力：86Kpa—106Kpa

4、電網電壓：AC220V±10%無嚴重諧波

5、電網頻率：50Hz±1Hz

6、電源功率：20KW

7、供電電網功率因數：＞0.9

8、氣源要求：≥0.6Mpa

9、無較大灰塵，腐蝕或爆炸性氣體，導電粉塵等空氣污染的損害。

3、主要技術指標：

設備技術指標要求如下：

1、（阻性/感性）開關測試單元

• 漏極電壓測試范圍：5V-1500V，5V-100V，步進0.1V，

              100V-1500V，步進1.0V；

• 漏極電流測試范圍：1A-300A，分辨率1A；
• 柵極驅動：±30V，分辨率0.1V；
• 大柵極電流：2A；
• 大脈沖電流：300A；
• 電源電壓（VDD）：5V-100V，步進0.1V，

                  100V-1500V，步進1.0V。

• 脈沖寬度：1us-100us,步進0.1us
• 時間測試精度：1ns；
• 感性負載：0.01mH-160mH程序控制，步進10uH；
• 阻性負載：1Ω、2Ω、5Ω、10Ω、50Ω，程序控制，備用三個電阻，以便使用時選擇。
• 開通/關斷時間ton/toff：5-10000ns
• 開通/關斷延遲td(on)/td(off）：5-10000ns
• 上升/下降時間tr/tf：5-10000ns

小分辨率1ns

• 開通/關斷損耗Eon/Eoff：1-2000mJ

小分辨率1uJ

2、柵極電荷單元

• 驅動電流：0-2mA，分辨率0.01mA，

2-20mA，分辨率0.1mA；

20mA-200mA，分辨率1mA。

• 柵極電壓：±30V，分辨率0.1V；
• 恒流源負載：1-25A，分辨率0.1A，

25-300A，分辨率1A；

• 漏極電壓：5-100V，步進0.1V，

100-1500V，步進1.0V。

• 柵極電荷Qg：1nC-100µC
• 漏極電荷Qgs：1nC-100µC
• 源極電荷Qgd：1nC-100µC
• 閾值電荷Qgth：1nC-100µC

 小分辨率1nC

• 平臺電壓Vgp：-30-0V,分辨率0.1V

0-30V，分辨率0.1V

3、反向恢復測試單元

• 正向電流：1A-25A，分辨率0.1A，

25A-300A，分辨率1A；

• 反向電壓：5v-100V，步進0.1V，

100V-1500V，步進1.0v；

• 反向恢復時間Trr：10ns-10000ns，小分辨率1ns；
• 反向恢復電荷Qrr：1nC-100µC，小分辨率1nC；
• 反向恢復電流Irm：1A-300A；
• 反向恢復損耗Erec：1-2000mJ，小分辨率1uJ；
• 電流下降率dif/dt：50-10kA/us；
• 電流恢復率dir/dt：50-5kA/us
• dv/dt：50-10kV/us。
• Ta，Tb，SF(軟度因子)

4、反偏安全工作區RBSOA

• 600A(2倍額定電流下，測試期間關斷電壓、電流)。

5、短路安全工作區SCSOA

• 一次短路電流Isc：1A-1000A，分辨率1A；
• 脈沖寬度5us-10us，步進0.1us。

6、結電容

• 電容測試掃頻范圍：0.1MHz～1MHz；
• 漏源極電壓：200V，分辨率1V。
• Ciss、Coss、Cres

7、柵極電阻

• 柵極電阻范圍： 0.1～50ohm；分辨率0.1Ω；
• 漏極偏置電壓： 0～1500V；
• 柵極偏置： ±20V。

8、雪崩耐量

• 大雪崩擊穿電壓≥2500V；
• 雪崩電流：200A；
• 感性負載：0.01mH～100mH連續可調，步進10μH；
• 可測試單次雪崩、重復雪崩。
• 系統功能
• 系統采用圖形化操作界面，界面友好、易操作，具有控制及監測界面編輯功能。
• 系統對測試過程中的數據能進行實時記錄、運算、存儲、分析；采集及記錄頻率要求和示波器采樣頻率一致，示波器刻度和采樣點數均可以設置。
• 在被試品性能測試過程中，能實時監控試驗電源、測量和分析相關電參數的功能，能實時監控被試品的各項參數指標，能實時監測加熱基板的溫度，可根據采集值和限制值進行相關報警；測試參數和相關監控參數均可在軟件上顯示和設置。
• 設備能對系統的狀態進行檢測，如系統有故障，能發出故障信號和對主要故障進行提示。
• 該設備能夠借助虛擬儀器系統中的I/O實現系統的控制功能。
• 設備高度自動化，能實現數據后臺處理，分析，并上傳數據至后臺數據庫實時監控比對。
• 在測試過程中，如有的測試單元有故障，可手動結束測試。
• 實現計算機的指令信息以及來自測試平臺的狀態信息的綜合處理功能。
• 當被測器件短路時，系統具有短路檢測及保護功能。
• 測試負載電感能通過測試系統實現自動切換。
• 通過掃描槍輸入被測器件編碼型號。
• 設備通過計算機實現對數據的采集和處理，顯示不同參數的測試結果。
• 當被測器件短路時，系統具有短路檢測及保護功能。
• 測試平臺的安全系統由測試電路及電源、各種保護、門安全系統等組成，在設備后門沒有關閉的情況下，設備不能帶電。
• 測試夾具是一個固定的獨立系統，不同器件配備不同的適配器。
• 該設備設置有緊急停止功能。
• 該測試臺各部分技術成熟可靠、結構盡量緊湊，外形美觀，具有良好的測試穩定性能。
• 高壓電容器均有放電設施和安全接地開關，在設備不工作的情況下，所有電容器都安全接地；
• 操作夾具設有安全接地開關，設備不測試時被測輸出端安全接地；
• 操作窗口設有安全氣動門和安全光柵設備，防止操作者的手被夾；