T81-50探針臺專注于物理、化學和材料等領域的科學儀器研發、制造、銷售、服務為一體的綜合型高科技企業。為廣大科研工作者提供磁性、低溫、高溫、真空、的實驗環境。

自2011年成立至今，已研發出各種類型的電磁鐵、液氮型低溫恒溫器、液氦型超低溫恒溫器、制冷機系統集成、高溫真空磁場退火爐系統、Helmholtz線圈全套解決方案、高穩定性雙極性電源、霍爾測量系統、電輸運測量系統、磁光克爾測試系統、高低溫磁場真空探針臺測試系統等，并可根據用戶需求，定制出各種類型的實驗產品。

這些產品可以用于很多領域，包括半導體，微機電系統，超導體，電子學，鐵電體，材料學，物理學和光學等。低溫探針可用于桌面或獨立系統，包括一個使用液氦或液氮（溫度范圍從低于4K到475K，可選600K）的超高效率連續流系統，且提供不對樣品造成任何振動的快速冷卻法。探測設備使用典型的單系統四探針法（也支持雙探針，六探針或八探針）測量直流脈沖，低頻率信號或微波信號或同時使用兩種信號。我們制造的每套系統都采用標準的品質工藝。所生產的產品已經成為您所有的對于標準和定制低溫系統的需求的選擇。

T81-50探針臺選型注意事項

※大需要測幾inch的晶圓或者器件？是否需要測試破片或者單顆芯片，小的單顆芯片尺寸？
※探針臺機械精度要求多高？ 
※點測樣品的電極尺寸？100μm *100μm或60μm *60μm的pad，還是FIB制作的mini pad，或者ic內部的metal線路？ 
※多需要幾個探針同時去點測？ 
※是否會用到探針卡測試？ 
※光學顯微鏡的小分辨率需要用到多少？ 
※顯微鏡方面，是否需要添加偏光片做LC液晶熱點偵測？ 
※探針點測時，對電流的要求是否達到100fa或者以下？低

電容要求是否要做到0.1pf？是否有射頻需求？ 
※接駁的測試儀器接口有哪些？ 
※測試環境時是否會需要加熱或者降溫？ 是否需要密閉腔體？
※對chuck的漏電要求怎樣？是否需要添加低阻抗chuck？ 
※是否需要防震桌？ 
※若添置防震桌，是否有壓縮空氣？

T81-50探針臺產品概述：

可進行真空環境下的高低溫測試（4.2K~500K），可升級加載磁場，低溫防輻射屏設計，樣品臺采用高純度無氧銅制作，溫度均勻性更好，溫度傳感器采用有著良好穩定性和重復性的PT100或者標定過的硅二極管作為測溫裝置，支持光纖光譜特性測試，兼容高倍率金相顯微鏡，可微調移動，器件的高頻特性(支持67GHz頻率)，探針熱沉設計，LD/LED/PD的光強/波長測試，自動流量控制，材料/器件的IV/CV特性測試等。

T81-50探針臺應用范圍：

高低溫真空環境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運特性等。

T81-50探針臺可選附件：

þ 防震桌

þ 多級壓縮制冷機

þ 機械泵/分子泵組/離子泵

þ 射頻部件

þ 各類型頻率真空接頭

þ 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線等…

þ 各類探針夾具

þ Chuck運動裝置

þ 電磁鐵系統/超導磁鐵系統

þ 1Mpa正壓系統

þ 超高溫升級選件

þ 超高真空升級選件

T81-50探針臺技術指標：