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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>集成電路測試與分選設備>探針臺>qirui 電子束蒸發鍍膜機

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qirui 電子束蒸發鍍膜機

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上海騏銳信息科技有限公司專注于行業領域,高低溫介電常數/高低溫下電性能測試系統/工業自動化/精密儀器/航空航天高性能材料測試系統、傳感器生產與技術服務。我們以技術創新為核心驅動力,致力于為客戶提供高效、智能、定制化的設備解決方案,助力全球客戶提升生產效率、優化產品質量并實現可持續發展。

核心技術優勢:

? 研發實力

擁有一支由資深工程師、行業專家及高??蒲袌F隊組成的復合型研發團隊,累計獲得多項發明專利及實用新型專利。

? 技術亮點

自主研發核心產品技術,如:高低溫下介電常數/材料電性能高低溫測試/模塊化設備架構/能耗優化系統等。

采用數字化仿真/工業大數據分析/虛擬調試等先進技術,縮短研發周期30%以上。

? 產學研合作

與高校/科研院所名稱建立合作,共同攻關行業關鍵技術難題。

 

產品與服務體系:

?? 核心產品線

1. 智能生產線集成:面向制造業的自動化裝配、檢測及自動化測試系統。

2. 專用設備定制:材料測試系統、半導體精密加工設備、新能源電池模組封裝設備等。

3. 智能運維平臺:設備遠程監控、預測性維護及數據分析服務。

?? 服務模式

- 全生命周期支持:從需求分析、方案設計到安裝調試、售后維保的一站式服務。

 

成功案例

研發的設備型號獲獎項/認證

服務覆蓋行業領域,如:汽車制造/生物醫藥/光伏新能源頭部企業

我公司與以下國內外廠商建立了長期合作關系:日本安立公司、美國泰克Tektronix 公司、南京盛普、Sample 公司 、美國福祿克Fluke 公司、北京普源精電 、Rigol公司、美國安捷侖Agilent公司、中國臺灣茂迪Motech公司、美國艾法斯 Aeroflex公司、 中國臺灣固緯Goodwill公司、美國吉時利Keithley公司、日本巖崎Iwatsu公司、美國國家儀器NI公司、日本愛德萬 Advantest公司、美國Magtrol公司、德國惠美Hameg公司、韓國Tescom公司、安徽41所、韓國金進 Jungjin公司、常州同惠等。

 

 

電子儀器儀表 材料測試

產地類別 進口 應用領域 化工,能源,電子/電池,包裝/造紙/印刷,電氣

電子束蒸發鍍膜機
電子束蒸發系統是化合物半導體器件制作中的一種重要工藝技術。它是在高真空狀態下由電子束加熱坩堝中的金屬,使其熔融后蒸發到所需基片上形成金屬膜。可蒸發很多難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料,包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5電子束蒸發鍍膜機是英國牛津真空公司生產,臺式設計、軟件自動操控、高性價比,非常適合實驗室科研使用。

技術規格:
- 基底尺寸:3英寸,4英寸,6英寸;
- 基底旋轉:0~10rpm;
- 電子束源:Telemark電子束源,單袋或多袋電子束源可選;
- 熱蒸發源:多配置2套熱蒸發舟(選配);
- 腔體:不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇;
- 泵:前級干泵,分子泵;
- Load Lock樣品傳輸腔室:手動或自動傳輸,高真空,支持多種樣品襯底(選配);
- 工藝控制:PC/PLC機制的自動控制、數據處理、遠程支持;
- 原位監控:石英晶振監測(QCM),光學監測,殘余氣體分析,其他原位監測技術或控制;
- 襯底固定:單襯底固定,客戶化襯底固定方式;
- 襯底夾具:加熱,冷卻,偏置,旋轉等;



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