FSM 128 薄膜應(yīng)力及基底翹曲測試設(shè)備
- 公司名稱 岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司
- 品牌 FSM
- 型號 FSM 128
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/11/9 13:33:41
- 訪問次數(shù) 7556
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,道路/軌道/船舶,航空航天,汽車及零部件 |
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美國FSM 薄膜應(yīng)力及基底翹曲測試設(shè)備
??在襯底鍍上不同的薄膜后, 因?yàn)閮烧卟馁|(zhì)不一樣，以及不同的材料不同溫度下特性不一樣, 所以會引起應(yīng)力。 如應(yīng)力太大會引起薄膜脫落, 引致組件失效或可靠性不佳的問題。 薄膜應(yīng)力激光測量儀利用激光測量樣本的形貌,透過比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 以Stoney’s Equation計(jì)算出應(yīng)力, 是品檢及改進(jìn)工藝的有/效手段。
??1) 快速、非接觸式測量
??2) 128型號適用于3至8寸晶圓
??128L型號適用于12寸晶圓
??128G 型號適用于470 X 370mm樣品，
??另可按要求訂做不同尺寸的樣品臺
??3) 雙激光自動轉(zhuǎn)換技術(shù)
??如某一波長激光在樣本反射度不足，系統(tǒng)會自動使用
??另一波長激光進(jìn)行掃瞄，滿足不同材料的應(yīng)用
??4) 全自動平臺，可以進(jìn)行2D及3D掃瞄(可選)
??5) 可加入更多功能滿足研發(fā)的需求
??電介質(zhì)厚度測量
??6) 500 及 900°C高溫型號可選
??7) 樣品上有圖案亦適用
美國FSM 薄膜應(yīng)力及基底翹曲測試設(shè)備 FSM128規(guī)格
??1) 測量方式: 非接觸式(激光掃瞄)
??2) 樣本尺寸:
??FSM 128NT: 75 mm to 200 mm
??FSM 128L: 150 mm/ 200 mm/ 300mm
??FSM 128G: /大550×650 mm
??3) 掃瞄方式: 高精度單次掃瞄、2D/ 3D掃瞄(可選)
??4) 激光強(qiáng)度: 根據(jù)樣本反射度自動調(diào)節(jié)
??5) 激光波長: 650nm及780nm自動切換(其它波長可選)
??6) 薄膜應(yīng)力范圍: 1 MPa — 4 GPa
??(硅片翹曲或彎曲度變化大于1 micron)
??7) 重復(fù)性: 1% (1 sigma)*
??8) 準(zhǔn)確度: ≤ 2.5%
??使用20米半徑球面鏡
??9) 設(shè)備尺寸及重量:
??FSM 128: 14″(W)×22″(L)×15″(H)/ 50 lbs
??FSM128L:14″(W)×26″(L)×15″/ 70 lbs
??FSM128G:37″(W)×48″(D)×19″(H)/ 200 lbs
??電源 : 110V/220V, 20A
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