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EVG 510 晶圓鍵合機(jī)

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岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司(Dymek Company Ltd ,下面簡(jiǎn)稱岱美)成立于1989年,是一間擁有多年經(jīng)驗(yàn)的高科技設(shè)備分銷商,主要為數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、半導(dǎo)體、光通訊、高校及研發(fā)中心提供各類測(cè)量設(shè)備、工序設(shè)備以及相應(yīng)的技術(shù)支持,并與一些重要的客戶建立了長(zhǎng)期合作的關(guān)系。自1989年創(chuàng)立至今,岱美的產(chǎn)品以及各類服務(wù)、解決方案廣泛地運(yùn)用于中國香港,中國大陸(上海、東莞、北京),中國臺(tái)灣,泰國,菲律賓,馬來西亞,越南及新加坡等地區(qū)。


岱美在中國大陸地區(qū)主要銷售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品:

晶圓鍵合機(jī)、納米壓印設(shè)備、紫外光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī)、硅片清洗機(jī)、超薄晶圓處理設(shè)備、光學(xué)三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測(cè)、非接觸式光學(xué)三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x、薄膜厚度檢測(cè)儀、主動(dòng)及被動(dòng)式防震臺(tái)系統(tǒng)、應(yīng)力檢測(cè)儀、電容式位移傳感器、定心儀等。


岱美重要合作伙伴包括有:

Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,

n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...


如有需要,請(qǐng)聯(lián)系我們,了解我們?nèi)绾伍_始與您之間的合作,實(shí)現(xiàn)您的企業(yè)或者組織機(jī)構(gòu)長(zhǎng)期發(fā)展的目標(biāo)。




膜厚儀,輪廓儀,EVG鍵合機(jī),EVG光刻機(jī),HERZ隔震臺(tái),Microsense電容式位移傳感器

EVG 510-晶圓鍵合機(jī)是用于研發(fā)或小批量生產(chǎn)的晶圓鍵合系統(tǒng)-與大批量生產(chǎn)設(shè)備*兼容

一、簡(jiǎn)介

EVG鍵合機(jī)EVG510是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng),可以處理從碎片到200 mm的基板尺寸。該工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝,例如陽極,玻璃粉,焊料,共晶,瞬態(tài)液相和直接法。易于使用的鍵合腔室和工具設(shè)計(jì)允許對(duì)不同的晶圓尺寸和工藝進(jìn)行快速便捷的重新工具化,轉(zhuǎn)換時(shí)間不到5分鐘。這種多功能性非常適合大學(xué),研發(fā)機(jī)構(gòu)或小批量生產(chǎn)應(yīng)用。EVG大批量制造工具(例如EVG GEMINI)上的鍵合室設(shè)計(jì)相同,鍵合程序易于轉(zhuǎn)移,可輕松擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模。

二、EVG晶圓鍵合機(jī)EVG510特征:

1、*的壓力和溫度均勻性

2、兼容EVG機(jī)械和光學(xué)對(duì)準(zhǔn)器

3、靈活的設(shè)計(jì)和配置,用于研究和試生產(chǎn)

4、將單芯片形成晶圓

5、各種工藝(共晶,焊料,TLP,直接鍵合)

6、可選的渦輪泵(<1E-5 mbar)

7、可升級(jí)用于陽極鍵合

8、開室設(shè)計(jì),易于轉(zhuǎn)換和維護(hù)

9、生產(chǎn)兼容

10、高通量,具有快速加熱和泵送規(guī)格

11、通過自動(dòng)楔形補(bǔ)償實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量

12、開室設(shè)計(jì),可快速轉(zhuǎn)換和維護(hù)

13、200 mm鍵合系統(tǒng)的小占地面積:0.8 m 2

14、程序與EVG的大批量生產(chǎn)鍵合系統(tǒng)*兼容

三、EVG鍵合機(jī)EVG510技術(shù)數(shù)據(jù)

1、大接觸力:10、20、60 k

2、加熱器尺寸:150毫米、200毫米

3、小基板尺寸:?jiǎn)涡酒?00毫米

4、真空環(huán)境:標(biāo)準(zhǔn):0.1毫巴(可選:1E-5 mbar)




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