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化工儀器網>產品展廳>測量/計量儀器>溫度計量儀器>溫度記錄儀/溫度驗證系統> kSA BandiT實時襯底溫度測試儀

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kSA BandiT實時襯底溫度測試儀

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      巨力光電(北京)有限公司立足于北京市副中心通州區,專門引進歐洲、美國、日本等國家制造的先進科學儀器設備,為客戶提供完備的售前咨詢和售后服務、技術支持。公司骨干在該行業有超過10年的經驗,專業的服務水平、完整的售后服務體系。

 目前主要產品涉及材料科學、微納米技術、表面測量和光電器件、光伏產品、半導體器件的檢測與研發等領域。

 公司本著以科技為導向、以客戶為中心、以服務為宗旨,竭誠為新老客戶提供貼心的服務!


AAA 太陽光模擬器,IV測試,雙燈太陽光模擬器,太陽能電池載流子遷移率測試系統,太陽能電池瞬態光電壓 光電流測試,鈣鈦礦太陽能電池&疊層太陽能電池仿真軟件,多通道太陽能電池穩定性測試系統,OLED光譜測量系統/角譜儀分析儀,OLED仿真軟件,高分子壓電系數測試儀,薄膜應力測試系統,薄膜應力測試儀,薄膜熱應力測試儀,桌面原子層沉積系統,鈣鈦礦LED壽命測試儀,太陽能電池量子效率QE測量系統,石墨烯/碳納米管制備技術,桌面型納米壓印機,太陽能電池光譜響應測試儀,SPD噴霧熱解成膜系統,電滯回線及高壓介電擊穿強度測試系統,電容充放電測試儀,薄膜生長速率測試儀

產地類別 進口 價格區間 面議
儀器種類 多通道 應用領域 醫療衛生,生物產業,農林牧漁,地礦,能源

kSA BandiT實時襯底溫度測試儀是一種非接觸、實時測量半導體襯底表面溫度的測試系統,采用半導體材料吸收邊隨溫度的變化,實時測量晶片/襯底的溫度;并且kSA BandiT 已經成功地安裝到眾多的MBE, MOCVD, Sputter, PLD等半導體沉積設備上,實現了晶片的溫度實時檢測。

kSA BandiT多晶片溫度監控軟件結合了自動伺服馬達控制的掃描檢測功能,從而實現了MBE外延薄膜生長過程中多襯底溫度實時Mapping檢測。

該系統在外延薄膜生長過程提供襯底/晶片實時的二維溫度信息的系統。對Wafer(及薄膜)表面溫度實時、非接觸、非入侵的直接檢測;采用溫度和半導體材料對光的吸收邊(譜帶能量)相關性原理,即材料的本征特性,使得測量結果更為準確;可裝載到MBE、MOCVD、濺射、蒸發系統等和熱處理、退火設備上,進行實時溫度檢測。


kSA BandiT實時襯底溫度測試儀

技術參數:
 溫度范圍:室溫~1300攝氏度;
 溫度重復性:0.2攝氏度;
 溫度分辨率:0.1攝氏度;
 穩定性:+/-0.2攝氏度;


主要特點:
    *實時、非接觸、非入侵、直接Wafer溫度監測;
    *多基片/晶片表面2D溫度Mapping監測;
    *真實的Wafer表面或薄膜溫度監測;
    *整合了新的黑體輻射監測技術;
    *沉積速率和薄膜厚度分析;
    *表面粗糙度分析功能;
    *測量波長范圍可選(例如:可見光波段、近紅外波段等)
    *避免了發射率變化對測量的影響;
    *無需沉積設備Viewport特殊涂層;




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