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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>組裝與封裝設(shè)備>鍵合機>FAB12 AML - 晶圓對準鍵合機

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FAB12 AML - 晶圓對準鍵合機

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 香港電子器材有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 FAB12
  • 產(chǎn)地 英國
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2020/8/27 17:45:47
  • 訪問次數(shù) 1703

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


香港電子器材有限公司 成立于一九八五年,是一間為亞太地區(qū)半導(dǎo)體、電子及光電產(chǎn)業(yè)提供設(shè)備、材料以及技術(shù)銷售與服務(wù)的公司。早在九零年代中就分別在中國臺灣和新加坡設(shè)立分公司,以加強在遠東地區(qū)的銷售及服務(wù)能力。九零年代末期,亦在上海設(shè)立辦事處,以迎接廿一世紀中國地區(qū)高科技領(lǐng)域飛騰時代的來臨。到目前為止, 公司已于香港、新加坡、中國臺灣、馬來西亞及中國多個城市(包括北京、成都、大連、上海、深圳、蘇州、天津、武漢及西安)設(shè)有服務(wù)中心, 為客戶提供ZJ的服務(wù)。
香港電子 作為多種高科技設(shè)備制造商在遠東地區(qū)的總代理,主要服務(wù)于半導(dǎo)體封裝廠、芯片生產(chǎn)廠、液晶顯示器廠、發(fā)光二極管廠、電路板廠,以及各大專院校和研究機構(gòu)。完善的售后服務(wù)是香港電子一直以來所秉持的原則,為了維持良好的售后服務(wù),工程師均定期的前往設(shè)備制造原廠接受培訓(xùn)或再培訓(xùn),務(wù)求能為客戶提供ZX的市場和產(chǎn)品信息,以及ZY質(zhì)的售后服務(wù)。

其中光學(xué)產(chǎn)品線:美國普林斯頓CCD、光譜儀,加拿大Sciencetech太陽能模擬器、BNC延遲脈沖器、Gentec光電探測器、海洋光學(xué)光譜產(chǎn)品、Laser Quantum激光器、Crystalaser激光器、EOS紅外探測器、Sydor Instruments X射線超高速掃描照相機 

歡迎您瀏覽我們的網(wǎng)頁。若您對我們的產(chǎn)品有進一步的需求或疑問,請與本公司總部或位于各地的辦事處聯(lián)絡(luò),我們將竭誠地為您提供及時的服務(wù)。WZ:www.teltec.biz PI公司 WZ:www.piacton.com

美國普林斯頓CCD、光譜儀,加拿大Sciencetech太陽能模擬器、BNC延遲脈沖器、Gentec光電探測器、海洋光學(xué)光譜產(chǎn)品、半導(dǎo)體前道產(chǎn)品、Crystalaser激光器、EOS紅外探測器、半導(dǎo)體后道產(chǎn)品

產(chǎn)地類別 進口 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,汽車及零部件

AML - 晶圓對準鍵合機

AML (Applied Microengineering Ltd ) 公司成立于一九九二年。公司坐落于英國牛津哈威爾科學(xué)園,主要從事原位晶圓鍵合設(shè)備生產(chǎn),并在擁有數(shù)百億英鎊現(xiàn)代化設(shè)備的Bondcenter的支撐下,為客戶提供鍵合相關(guān)服務(wù)工作。AML生產(chǎn)的對準鍵合機,是目前市場上ZZ能夠?qū)崿F(xiàn)在同一設(shè)備上完成原位對準、激活、鍵合的設(shè)備,是MEMS, IC,和III-V鍵合工藝的ZJ選擇。在實現(xiàn)原位鍵合的同時,該設(shè)備也被用于壓紋、印壓、納米 壓印及其它圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)。可用于科研,并具有適合批量生產(chǎn)的全自動設(shè)備。

AML Bondcenter 為客戶提供了制作鍵合基底,鍵合器件及3D集成和芯片級封裝的**場所。

NEW !  IRIS-紅外晶圓鍵合檢測& Maszara鍵合強度設(shè)備


IR檢測整片鍵合完成的晶圓

紅外檢測是一種快速、簡單的無損檢測方法。它可以檢測鍵合后整片晶圓的空洞、粘接不良或內(nèi)部的顆粒。

可以對直徑200mm的晶圓做出快速檢測
•可檢測的空洞小高度是250nm
• 空洞橫向小尺寸600um。

 

 

 

AML鍵合機
晶圓對準鍵合機, 廣泛應(yīng)用于MEMS器件, 晶圓級封裝技術(shù)(WLP), *真空封裝基底, TSV 3D互聯(lián)工藝等。

?

AML鍵合機具有duyi無二的原位晶圓對準鍵合技術(shù):

• 激活、對準、鍵合一體機
• 上下基板獨立加熱,適合Getter材料工藝
• 低擁有成本 & 高生產(chǎn)能力
• 智能作用力控制
• 可靠的全自動對準功能,對準精度可達1微米
• **真空鍵合
• 可鍵合的芯片及晶圓尺寸 為 2” 到 12”
• 自動程序控制功能:適用于研發(fā)或生產(chǎn)等應(yīng)用
• 圖像采集功能:用于識別背面對準標記 
• 鍵合前晶圓原位激活、化學(xué)表面處理功能
• AML的BONDCENTER可為客戶提供強大的工藝支持

 

NEW!!

(New!)基於真空的臨時鍵合技術(shù), 
在3D IC 工藝中wan美的應(yīng)用,和粘附劑說再見吧! 

節(jié)省工藝時間,提高生產(chǎn)效率,
高性價比!

- 無粘附劑的真空鍵合
- 鍵合時間< 5mins
- ZG工藝溫度> 300 C
- 解鍵合時間< 10mins
- 3D-IC 工藝ZJ的選擇
 

 

 
 
基板溫度/鍵合力曲線圖,上下基板可在鍵合過程中保持不同溫度
 

Cu-Cu鍵合過程中在腔室內(nèi)使用蟻酸氣體對
鍵合表面氧化物進行處理,處理后界面EDX譜圖

原位等離子體激活處理

原位對準系統(tǒng)

 

 

FAB12 - 全自動晶圓對準鍵合機

晶圓尺寸: 150mm & 200mm (或300mm)
晶圓厚度: Max. stack height 6.5mm
晶圓傳輸: 接觸邊緣 3mm 區(qū)域
基礎(chǔ)氣壓: 10-6mbar range
抽氣時間: 5 min (to 10-4mbar)
大鍵合力: 25kN
卡盒數(shù)量: 2 or 3 (FOUP, SMIF or Open Cassette Load Ports)

 

 

 

 



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