682.400斜面切割工具儀（SC-Tool）- 提供均質/非均質材料橫截面可組合切割并zei小化減少其機械變形或損壞。

682.400斜面切割工具儀規格：
離子源
離子槍 一個潘寧離子槍與微型稀土永磁體
離子束能量 1.0 KeV 到10.0 KeV
離子束直徑 5mm FWHM
離子電流密度 峰 10mA/cm2
氣體流量 氬氣 0.1cc/分/槍
刻蝕范圍 根據離子槍能量為7mm-10mm不等
刻蝕速率 10.0keV下，硅材料約10µm/小時，鎢材料約3µm/小時

Airlock組裝
樣品載臺 接納1¼英寸（31mm）金相套和多種SEM短截線
樣本旋轉速率 可變速率10-60 rpm
樣品傾斜角度 固定角度或可變搖擺角度（0° - 90°）
樣品搖擺速率 可變速率5°/秒 - 36°/秒
選配 用于側插TEM的TEM適配器或SEM樣品載臺

真空
干燥泵系統 兩個部分，隔膜泵搭配一個70 升/秒渦輪泵
壓力 5E-6 托（6.6E-4Pa）基本壓力
6E-5 托（8E-3Pa）工作壓力
真空計 樣品腔冷陰極規，搭配固態壓力傳感器
樣品調換 Gatan WhisperlokTM，樣品更換時間＜1分鐘
活性碳過濾器 真空排氣裝置，以減少碘蒸汽排放到安全標準

尺寸及功率
總尺寸 560mmW x 480mmD x 430mmH (22W x 19D x 17H)
貨運重量 45kg （100 lbs）
電源要求 通用電壓 100VAC-240VAC，50/60Hz
用戶需確定電源型號以保證正確的線路
能量消耗 運行時需200瓦特，離子槍關閉時需100瓦特
氣體需求 氬氣 70psi （4.82 bar）
替代氣體（其它惰性）20psi （1.38 bar）
碘蒸汽用于反應離子束刻蝕（結晶碘由用戶自行提供）

保修 一年

斜面切割工具

斜面切割工具是標準PECS載臺的一個直接替代工具

Gatan的精密刻蝕鍍膜儀（PECS）是一個多功能的儀器，根據操作條件和參數提供各種功能應用于透射電鏡和掃描電鏡。這些特點包括離子束清洗、平滑、細化、選擇性刻蝕、濺射鍍膜和斜面切割。單獨使用斜面切割得不到高質量圖像適應當今掃描應用所需；但當配合使用PECS，其*切割、刻蝕和鍍膜一體的特點使得樣品圖像具有高清晰度和高質量。