FPD/300mm硅片檢查顯微鏡

ECLIPSE L300 反射型

ECLIPSE L300D 透反射兩用型

集尼康光學技術于一身的尼康LV系列金相顯微鏡光學系統，在亮度、對比度和可操作性能方面都達到 的高度，適合于大直徑硅片或大型液晶板的高級檢查。

尼康LV系列金相顯微鏡觀察樣品:
ECLIPSE L300 300 mm硅片； ECLIPSE L300D 300 mm硅片或17″FPD。

觀察倍率15X～3000X（視目鏡和物鏡的組合而定）；

使用CFI60光學系統，*消除耀斑影響，對比度更高，成象更加清晰、明亮；

物鏡齊焦距為60mm，可以兼顧高數值孔徑和長工作距離兩方面的要求；

主機剛性高，具有很好的抗振性能，具有防塵、防污染、防靜電功能；

采用3工位可調心的6孔電動物鏡轉換器；

光亮調節、孔徑調節、物鏡轉換等操作都集中在前面，使用方便，即使*操作也不易產生疲勞；

DIC觀察采用全體物鏡共用物鏡轉換器內的諾曼斯基棱鏡，結構簡單，成象質量高。

L300

LSI檢查顯微鏡

ECLIPSE L200 反射型

ECLIPSE L200D 透反射兩用型

使用世界 水平的尼康CFI60光學系統，對光路中的耀斑有很好的抑制，可以實現很高的圖象對比度。

可以觀察的 硅片直徑為200mm，觀察倍率15X～3000X（視目鏡和物鏡的組合而定）；

物鏡齊焦距離為60mm，可以兼顧高數值孔徑和長工作距離兩方面的要求；

主機剛性高，具有很好的抗振性能，具有防塵、防污染、防靜電功能；

光亮調節、光闌調節、物鏡轉換等操作都集中在前面，使用方便，即使*操作也不易產生疲勞；

可以與尼康的硅片輸送機配合使用，提高硅片檢測效率。

＜微分干涉套＞

全體物鏡共用物鏡轉換器內的諾曼斯基棱鏡，結構簡單，成象質量高。

L200

L200D

工業顯微鏡

LV150 手動物鏡轉換器、反射照明型

LV150A 電動物鏡轉換器、反射照明型

基于模塊化設計這一全新概念，ECLIPSE LV系列實現了跨時代的組合多樣性，作為面向工業領域的新型顯微鏡，可以從容應對開發、品質管理等廣泛的觀察需求。

與LV-CR墊高塊35一起使用， 檢測高度可達82mm；把LV-SUB載物臺2與其它公司的載物臺（例如：駿河精機產的B23-60CR型載物臺）組合使用， 檢測高度可達116.5mm。

可能實現的觀察方法：明視場、暗視場、簡易偏光、微分干渉、反射熒光（可見光激發或紫外光激發）、雙光束干涉、相敏偏光。

12V50W的鹵素燈照明，其發光強度相當于一般的12V100W照明。

著眼于人類未來生活環境的考慮，CFI60物鏡之CFI PLAN FLUOR系列和CFI L PLAN EPI CR系列采用不含鉛、砷等有害物質的環保玻璃制作而成。