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GS-300 晶圓檢測設備

具體成交價以合同協議為準

聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


大塚電子(蘇州)有限公司成立于20074月,致力于讓中國客戶能安心使用已有50年歷史的日本大塚電子所研發與生產的測量與分析設備。

我們的產品涵蓋LED、OLED等光源和照明行業,產品包括有液晶和有機EL顯示行業的光學特性評估與檢測設備;用于測量半導體晶圓和薄膜化學品厚度的設備;以及評估墨水、研磨劑、醫藥和化妝品材料的納米顆粒(粒徑和ζ電位測量)設備,這些設備均應用了我們的“光”技術。

在日本,我們的產品擁有眾多交付實績。為提供全面的售前和售后支持,我們設立了技術和維護中心,努力提供快速、令客戶滿意并能使客戶感受到關懷和價值的服務。

我們致力于不斷提升產品價值和支持服務,做到讓客戶能主動向他人推薦大塚電子的產品。

我們是大塚集團的一員,繼承了集團的企業理念「Otsuka-people creating new products for better health worldwide

以及大塚集團歷代的3個思想,即「流汗悟道」「實證」「創造性」,并以此行動。我們推出創新產品,開展業務,為社會做出貢獻。

對于那些挑戰可能性邊界的人來說,天空是無限的。超越它,就會有一個全新的前沿世界。

利用大塚電子的技術“光”的力量,為業界提供解決方案是我們的使命。

Otsuka-people creating new products for better health worldwide

傳承大塚的“實證與創造”精神,時刻為了實踐“因為是大塚所以能做到”、"只有大塚才能做到"的口號而努力奮斗。

大塚電子,通過革新的且富有創造性的產品(設備)服務,在「健康和生活」的領域,不斷地為人民的生活做著貢獻。



zeta電位?粒徑?分子量測量系統,晶圓在線測厚系統,線掃描膜厚儀,顯微分光膜厚儀,線掃描膜厚儀,分光干涉式晶圓膜厚儀,相位差膜?光學材料檢測設備,非接觸光學膜厚儀,小角激光散射儀,多檢體納米粒徑量測系統,量子效率測量系統

產地類別 進口 價格區間 面議
應用領域 醫療衛生,化工,電子/電池,包裝/造紙/印刷,電氣

 

 

晶圓檢測設備 GS-300 搭載圖案對準功能,X-Y位置確認精度2μm以下。

 

特點

  • 可整合至300mm設備前端模組(EFEM)單元預備端口
  • 實現嵌入晶片中的布線圖案的對準(IR相機)
  • 可對應半導體制造的高生產量要求
  • 可支持預對準校正功能
  • 緊湊模式(W475mm×D555mm)

測定事例

  • 硅通孔技術(TSV)嵌入圖案晶圓研磨后的厚度
  • 12寸(300mm)晶圓厚度


晶圓檢測設備技術參數

名稱

Rθ驅動

mapping系統

高精度X-Y驅動

mapping

搭載對應

mapping系統

型式SF-3RθSF-3AASF-3AAF
stage方式Rθ stageX-Y stageRθ XY
光學系probe+CCD cameraprobe+CCD camera同軸顯微head+IR camera
大晶圓尺寸mm300以下300以下僅300
晶圓角度補正
圖案對位
晶圓厚度范圍

SF-3厚度感應器

參照式樣

SF-3厚度感應器

參照式樣

SF-3厚度感應器

參照式樣

裝置尺寸(本體)

W×D×H

約465×615×540約510×700×680約475×555×1620

裝置尺寸(控制)

W×D×H

約430×450×210約500×177×273約475×555×1620

 

測定案例

貼合晶圓(Si/復合/支撐基板)

Si膜厚分布(約25μm)

復合膜厚分布(約25μm)

 

 

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