SF-3 分光干渉式晶圓膜厚儀
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 大塚電子(蘇州)有限公司
- 品牌 OTSUKA/日本大塚
- 型號 SF-3
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2020/6/12 16:11:24
- 訪問次數 1440
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產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
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應用領域 | 醫療衛生,化工,電子/電池,包裝/造紙/印刷,電氣 |
分光干渉式晶圓膜厚儀
分光干渉式晶圓膜厚儀即時檢測
WAFER基板于研磨制程中的膜厚
玻璃基板于減薄制程中的厚度變化
(強酸環境中)
產品特色
- 非接觸式、非破壞性光學式膜厚檢測
- 采用分光干涉法實現高度檢測再現性
- 可進行高速的即時研磨檢測
- 可穿越保護膜、觀景窗等中間層的檢測
- 可對應長工作距離、且容易安裝于產線或者設備中
- 體積小、省空間、設備安裝簡易
- 可對應線上檢測的外部信號觸發需求
- 采用適合于膜厚檢測的獨自解析演算法。
- 可自動進行膜厚分布制圖(選配項目)
規格式樣
SF-3 | |
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膜厚測量范圍 | 0.1 μm ~ 1600 μm※1 |
膜厚精度 | ±0.1% 以下 |
重復精度 | 0.001% 以下 |
測量時間 | 10msec 以下 |
測量光源 | 半導體光源 |
測量口徑 | Φ27μm※2 |
WD | 3 mm ~ 200 mm |
測量時間 | 10msec 以下 |
※1 隨光譜儀種類不同,厚度測量范圍不同
※2 小Φ6μm