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GS-300 晶圓在線測(cè)厚系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 大塚電子(蘇州)有限公司
  • 品牌 OTSUKA/日本大塚
  • 型號(hào) GS-300
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2020/6/16 11:16:54
  • 訪問(wèn)次數(shù) 1638

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


大塚電子(蘇州)有限公司成立于20074月,致力于讓中國(guó)客戶能安心使用已有50年歷史的日本大塚電子所研發(fā)與生產(chǎn)的測(cè)量與分析設(shè)備。

我們的產(chǎn)品涵蓋LEDOLED等光源和照明行業(yè),產(chǎn)品包括有液晶和有機(jī)EL顯示行業(yè)的光學(xué)特性評(píng)估與檢測(cè)設(shè)備;用于測(cè)量半導(dǎo)體晶圓和薄膜化學(xué)品厚度的設(shè)備;以及評(píng)估墨水、研磨劑、醫(yī)藥和化妝品材料的納米顆粒(粒徑和ζ電位測(cè)量)設(shè)備,這些設(shè)備均應(yīng)用了我們的“光”技術(shù)。

在日本,我們的產(chǎn)品擁有眾多交付實(shí)績(jī)。為提供全面的售前和售后支持,我們?cè)O(shè)立了技術(shù)和維護(hù)中心,努力提供快速、令客戶滿意并能使客戶感受到關(guān)懷和價(jià)值的服務(wù)。

我們致力于不斷提升產(chǎn)品價(jià)值和支持服務(wù),做到讓客戶能主動(dòng)向他人推薦大塚電子的產(chǎn)品。

我們是大塚集團(tuán)的一員,繼承了集團(tuán)的企業(yè)理念「Otsuka-people creating new products for better health worldwide

以及大塚集團(tuán)歷代的3個(gè)思想,即「流汗悟道」「實(shí)證」「創(chuàng)造性」,并以此行動(dòng)。我們推出創(chuàng)新產(chǎn)品,開展業(yè)務(wù),為社會(huì)做出貢獻(xiàn)。

對(duì)于那些挑戰(zhàn)可能性邊界的人來(lái)說(shuō),天空是無(wú)限的。超越它,就會(huì)有一個(gè)全新的前沿世界。

利用大塚電子的技術(shù)“光”的力量,為業(yè)界提供解決方案是我們的使命。

Otsuka-people creating new products for better health worldwide

傳承大塚的“實(shí)證與創(chuàng)造”精神,時(shí)刻為了實(shí)踐“因?yàn)槭谴髩V所以能做到”、"只有大塚才能做到"的口號(hào)而努力奮斗。

大塚電子,通過(guò)革新的且富有創(chuàng)造性的產(chǎn)品(設(shè)備)服務(wù),在「健康和生活」的領(lǐng)域,不斷地為人民的生活做著貢獻(xiàn)。



zeta電位?粒徑?分子量測(cè)量系統(tǒng),晶圓在線測(cè)厚系統(tǒng),線掃描膜厚儀,顯微分光膜厚儀,線掃描膜厚儀,分光干涉式晶圓膜厚儀,相位差膜?光學(xué)材料檢測(cè)設(shè)備,非接觸光學(xué)膜厚儀,小角激光散射儀,多檢體納米粒徑量測(cè)系統(tǒng),量子效率測(cè)量系統(tǒng)

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子/電池,包裝/造紙/印刷,電氣

晶圓在線測(cè)厚系統(tǒng) GS-300

晶圓在線測(cè)厚系統(tǒng) GS-300 搭載圖案對(duì)準(zhǔn)功能,X-Y位置確認(rèn)精度2μm以下。

 

特點(diǎn)

  • 可整合至300mm設(shè)備前端模組(EFEM)單元預(yù)備端口
  • 實(shí)現(xiàn)嵌入晶片中的布線圖案的對(duì)準(zhǔn)(IR相機(jī))
  • 可對(duì)應(yīng)半導(dǎo)體制造的高生產(chǎn)量要求
  • 可支持預(yù)對(duì)準(zhǔn)校正功能
  • 緊湊模式(W475mm×D555mm)

測(cè)定事例

  • 硅通孔技術(shù)(TSV)嵌入圖案晶圓研磨后的厚度
  • 12寸(300mm)晶圓厚度


晶圓在線測(cè)厚系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

名稱

Rθ驅(qū)動(dòng)

mapping系統(tǒng)

高精度X-Y驅(qū)動(dòng)

mapping

搭載對(duì)應(yīng)

mapping系統(tǒng)

型式SF-3RθSF-3AASF-3AAF
stage方式Rθ stageX-Y stageRθ XY
光學(xué)系probe+CCD cameraprobe+CCD camera同軸顯微head+IR camera
大晶圓尺寸mm300以下300以下僅300
晶圓角度補(bǔ)正無(wú)
圖案對(duì)位無(wú)
晶圓厚度范圍

SF-3厚度感應(yīng)器

參照式樣

SF-3厚度感應(yīng)器

參照式樣

SF-3厚度感應(yīng)器

參照式樣

裝置尺寸(本體)

W×D×H

約465×615×540約510×700×680約475×555×1620

裝置尺寸(控制)

W×D×H

約430×450×210約500×177×273約475×555×1620

測(cè)定案例

貼合晶圓(Si/復(fù)合/支撐基板)

Si膜厚分布(約25μm)

復(fù)合膜厚分布(約25μm)

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