CAFS4000醫(yī)用氣體質量流量傳感器是采用微機電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片制作，適用于各種用途的清潔、相對干燥性氣體的測量，實現(xiàn)設備的數(shù)字化、智能化和提升高安全性，具有對傳統(tǒng)行業(yè)革新的作用和提升；寬范圍的流量量程滿足行業(yè)不同設備的流量測量需求，高靈敏度，高可靠性，高穩(wěn)定性和低成本的性能特點能夠促使行業(yè)向節(jié)能化和智能化方向發(fā)展。

CAFS4000醫(yī)用氣體質量流量傳感器是基于MEMS流量傳感單元、高精度數(shù)字處理和標定電路（MCU）組成，集成的高分辨率Δ-ΣA/D轉換器和具有內部校準功能的邏輯電路及MCU處理器共同保證了傳感信號實時有效采集，獲得精確的流量信號，并在內部進行相應的補償算法處理，因此無需再做任何外部校準補償，就能確保高精度的流量輸出；友好的數(shù)字化輸出通訊方式，用戶可以很方便的得到相應數(shù)據(jù)信息；產品應用范圍十分廣闊。

• 流量范圍寬0-300SLPM

• 精度高（1.5％F.S精度）

• 線性輸出和溫度補償

• 以小的零漂保持*穩(wěn)定性

• 固態(tài)傳感核心（無表面空洞或易碎膜），抗堵塞和壓力沖擊

• 模擬輸出（1至5 V）（也可提供I2C輸出）

• 快速響應時間（20ms響應時間）