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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>其它實驗室常用設備>其它實驗室設備>VTC-2RF 2英寸300W射頻磁控濺射鍍膜儀

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VTC-2RF 2英寸300W射頻磁控濺射鍍膜儀

具體成交價以合同協議為準

聯系方式:廖勝眉查看聯系方式

聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


    深圳市科晶智達科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服務于高校、研究院所、企業研發部門的國家技術企業,長期致力于打造安全、高效、智能的實驗研發一站式服務平臺,為科學研究與產業孵化賦能。
    深圳科晶與美國MTI、合肥科晶、沈陽科晶同屬MTI-科晶聯盟,目前已經搭建輻射的服務網絡,精心為科學家們的實驗室提供交鑰匙工程解決方案。


    深圳科晶創立初期主要為半導體、精密光學器件提供潔凈存儲和安全轉移所使用的包裝制品,產品包括各種塑料膠盒、膜盒、晶圓盒、海綿盒、花籃等。


    公司2008年開始進行材料相關研發設備和鋰電池實驗設備的開發,經過十多年的積累深圳科晶現已成為新能源和新材料基礎研究、小試與中試、測試與評估的整體解決方案規劃者和提供者,產品應用涵蓋了石墨烯材料、*陶瓷、*納米材料、鋰離子電池、超級電容器、燃料電池、固態電池、鈣鈦礦太陽能電池、功能薄膜等方向。
    主要產品系列:按應用與工藝更新產品系列
    •  材料基礎研究實驗裝備(包括混料、涂覆、鍍膜、壓制、燒結、切割、研磨、拋光、粉碎、制粉、造粒、熔煉等);
    •  電池研發實驗制備裝備(包括鋰離子電池、固態電池、超級電容器、金屬空氣電池、鈉離子電池、液流電池、太陽能電池等制備方案);
    •  電池安全測試裝備(符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等國內標準等);
    •  鋰離子電池中、小試生產制備全流程系統裝備方案,交鑰匙工程(包括扣式、柱狀、軟包、方形鋁殼等各種全電池制備方案);
    •  燃料電池研發實驗制備裝備(包括固體氧化物、質子交換膜燃料電池等制備方案);
    •  鈣鈦礦太陽能電池研發實驗制備;
    •  功能薄膜研發實驗設備(包括混料、涂布、輥壓/復合、分切、復卷等);
    •  高通量材料基因組實驗設備(包括配液、配粉、混合分散、壓片、燒結、測試表征等);
   

公司設立了開放的研發實驗室和設備體驗中心。對于鋰電池行業,可實現公斤級別材料制備及電池研發,能接受上門小批量材料驗證、定向工藝研究及小量成品電池制備等研發工作。


    深圳科晶強大的研發團隊支撐了豐富的產品鏈,針對現有產品具有*知識產權的發明和實用新型共40多項(包含PCT和國內發明),并參與行業多項標準制定且獲得多個行業協會認可。


    本著“精誠合作、創新共贏”的宗旨,深圳科晶先后與清華大學、南開大學、上海交通大學、深圳大學、中航發航材院、溧陽天目湖研究院等十多個高校機構和企業簽署產學研合作。與此同時,深圳科晶設立了對外服務的公共試驗平臺,承接科研人員參觀交流與現場測試體驗,配備行業資深的售前技術人員協助研究者充分了解相關工藝和設備,縮短調研考察與決策時間。該實驗室平臺也可以承接相關工藝試驗服務和培訓咨詢服務,協助細分領域的科研工作者快速掌握產業工藝,從而專注前沿研發。

材料科學是基礎科學。縱觀人類科技的發展歷史,新型材料的發現和應用將帶來巨大的產業機遇,而*實驗裝備和儀器是為科研和應用保駕護航的重要保障。科晶團隊將一如既往秉承“客戶為本,技術為導,誠信為基,積極創新”的運營理念 ,竭力為科學研究和科技發展做出貢獻。


電池研發實驗設備(扣式電池,軟包電池,圓柱電池)

產地類別 國產 應用領域 電氣

VTC-2RF 2英寸300W射頻磁控濺射鍍膜儀是一款小型的射頻(RF)等離子體磁控濺射鍍膜儀系統,

系統中包含了所有所需的配件,如300W(13.5MHz)的RF電源、2"的磁控濺射頭、石英真空腔體、

真空泵和溫度控制器等。對于制作一些金屬薄膜及非金屬薄膜,它是一款物美價廉的實驗幫手。

性能指標和基本配置
我們用此設備得到擇優取向的ZnO薄膜image.png
主要參數

● 輸入電源:220V AC 50/60Hz
● 整機功率:800W(包括真空泵)
● 射頻電源最高使用功率:300W
● 靶頭數量:單個2英寸磁控濺射靶頭
● 樣品臺加熱溫度:500℃

濺射腔體

● 采用石英腔體,尺寸:166 mm OD×150 mm ID×250 mm H
● 密封法蘭:直徑為165 mm,采用金屬制作,密封采用O形密封圈

射頻電源

● 該設備有兩種射頻電源可選分別為:(圖一、二)
● 300W自動匹配射頻電源
● 100W的手動匹配射頻電源
image.png          

圖1                  圖2
注意:
● 2英寸靶頭最大使用功率為300W
● 自動射頻電源的最大功率為300W,但是受靶頭限制,最大功率只能使用100W
● 自動匹配電源價格相對貴,但是操作非常方便,無需手動調節,可以節約時間
● 此設備支持多種DIY方案,購買前請務必與我公司銷售聯系,同時歡迎您帶料到科晶實驗室實驗

濺射頭&樣品臺

● 一個2英寸磁控濺射頭(帶有水冷夾層),采用快速接頭與真空腔體相連接
● 儀器中安裝有直徑為50mm的不銹鋼可旋轉樣品臺,其與濺射頭之間距離可調
● 樣品臺可加熱,加熱溫度室溫-500℃
● 安裝有一可手動操作的擋板
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真空系統

● 安裝有KF25真空接口
● 數字真空壓力表(Pa)
● 此系統運行需要Ar氣,并且氣瓶上安裝有減壓閥(設備中不包含)
● < 1.0E-2 Torr(采用機械泵)(參考值,詳情請點擊)
● < 1.0E-5 Torr(采用渦旋分子泵)(參考值,詳情請點擊)
● 可在本公司選購各種真空泵
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進氣

● 設備上配1/4英寸進氣口方便連接氣瓶
● 設備前面板上裝有一氣流調節旋鈕,方便調節氣流

靶材

● 靶材尺寸要求:Φ50mm×(0.1-3) mm(厚度)
● 可在本公司選購各種靶材
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薄膜測厚儀(可選)

可在本公司選購薄膜測厚儀安裝在濺射儀上
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產品尺寸

540 mm L x 540 mm W x 1100 mm H
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凈重70 kg(不包括泵)
使用提示

● 此設備有多種DIY方案可供選擇,具體請聯系銷售部
● 為了保證濺射效果,非導電靶材必須安裝銅墊塊
● 可在本公司購買單晶基片從A到Z(點擊下圖查看詳情)
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本公司濺射鍍膜機在500℃已經成功將ZnO濺射在Al2O3襯底上(點擊下圖查看XRD圖譜)
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● 有時為了達到理想的薄膜厚度,可能需要多次濺射鍍膜
● 為了得到較好的薄膜質量,必須通入高純氣體(建議> 5N)
● 在濺射鍍膜前,確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺的潔凈
● 要達到薄膜與基底良好結合,請在濺射前清潔基材表面
● 超聲波清洗(詳細參數點擊下面圖片):(1)丙酮超聲(2)異丙醇超聲-去除油脂(3)吹氮氣干燥(4)真空烘箱除去水分。
● 等離子清洗(詳細參數點擊下面圖片):可表面粗糙化,可激活表面化學鍵,可祛除額外的污染物。
● 制造一個薄的緩沖層(5納米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以應用于改善金屬和合金的附著力。
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    超聲波清洗機         等離子清洗機              蒸鍍儀                     手套箱

警告

● 注意:產品內部安裝有高壓元件,禁止私自拆裝,帶電移動機體。
● 氣瓶上應安裝減壓閥(設備標配不包括),保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下,以安全使用。
● 濺射頭連接到高電壓。為了安全,操作者必須在關閉設備前裝樣和更換靶

認證

image.pngCE認證

保修期一年保修,終身技術支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內
點擊查看售后服務承諾書。



VTC-2RF  2英寸300W射頻磁控濺射鍍膜儀

免責聲明:本站產品介紹內容(包括產品圖片、產品描述、技術參數等),僅供參考??赡苡捎诟虏患皶r,或許導致所述內容與實際情況存在一定的差異,請與本公司客服人員聯系確認。本站提供的信息不構成任何要約或承諾,科晶公司不定期完善和修改網站任何信息,恕不另行通知。





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