等離子清洗機(jī)處理原理及優(yōu)點(diǎn)

一、等離子清洗機(jī)的表面改性

1 清洗作用：去除基體表面的弱鍵以及典型-CH 基有機(jī)污染物和氧化物。

主要特點(diǎn)： 只對材料表面起作用而對內(nèi)部無任何侵蝕， 得到超高潔凈表面為下道工序做好準(zhǔn)備。

2 刻蝕作用：是利用典型的氣體組合形成具有強(qiáng)烈蝕刻性的氣相等離子體與物體表面的有機(jī)物基體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成其他比如 CO、CO2、H2O 等氣體，從而達(dá)到蝕刻的目的。主要特點(diǎn)：刻蝕均勻；不傷害工件基體；能有效去除表面異物，達(dá)到理想刻蝕度。

3 活化作用： 使基體表面形成 C=O 羰基 （Carbonyl） 、 -COOH 羧基（Carboxyl） 、 OH 羥基 （Hydroxyl）三種基團(tuán)。這些基團(tuán)具有穩(wěn)定的親水功能，對粘接有積極作用。

主要特點(diǎn)：可使聚合物表面出現(xiàn)部分活性原子、自由基和不飽和鍵，這些活性基團(tuán)與等離子體中的活性粒子發(fā)生反應(yīng)生成新的活性基團(tuán)，從而增加表面能量，改變表面的化學(xué)特性，增強(qiáng)表面附著力、粘結(jié)力。

4 涂層（接枝、沉積）作用：在等離子涂鍍中兩種氣體同時進(jìn)入反應(yīng)艙，氣體在等離子環(huán)境下會聚合。這種應(yīng)用比活化和清洗的要求要嚴(yán)格一些。典型的應(yīng)用是保護(hù)層的形成，應(yīng)用于燃料容器、防刮表面、類似聚四氟乙烯(PTFE)材質(zhì)的涂鍍、防水鍍層等。

主要特點(diǎn)： 可使材料表面分子鏈發(fā)生斷裂產(chǎn)生新的自由基、雙鍵等活性基團(tuán)， 隨之發(fā)生交聯(lián)、 接枝等反應(yīng)；同時活性氣體會在材料表面聚合產(chǎn)生一層沉積層，此沉積層的存在將*地提高材料表面的粘接、涂覆和印刷的結(jié)合力。

等離子清洗機(jī)處理原理及優(yōu)點(diǎn)

二、等離子體清洗原理
通過化學(xué)或物理作用對工件表面進(jìn)行處理，實(shí)現(xiàn)分子水平的污染物去除（一般厚度為幾個～幾十個納米），從而提高工件表面的活性。被清除的污染物可能為有機(jī)物、環(huán)氧樹脂、光刻膠、氧化物、微顆粒污染物等。對應(yīng)不同的污染物，應(yīng)采用不同的清洗工藝，根據(jù)選擇的工藝氣體不同，等離子清洗分為化學(xué)清洗、物理清洗及物理化學(xué)清洗。
1 化學(xué)清洗:表面作用以化學(xué)反應(yīng)為主的等離子體清洗，又稱 PE。

從反應(yīng)式可見，氧等離子體通過化學(xué)反應(yīng)可使非揮發(fā)性有機(jī)物變成易揮發(fā)的
H2O 和 CO2。

從反應(yīng)式可見，氫等離子體通過化學(xué)反應(yīng)可以去除金屬表面氧化層，清潔金
屬表面。
2 物理清洗：表面作用以物理反應(yīng)為主的等離子體清洗，也叫濺射腐蝕（SPE）。