海德漢HEIDENHAIN光柵尺

典型應(yīng)用包括：

• 半導(dǎo)體業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備
• PCB電路板組裝機
• 超高精度機床
• 高精度機床
• 測量機和比較儀，測量顯微鏡和其它精密測量設(shè)備
• 直驅(qū)電機

線性編碼器測量
無附加機械裝置的線性軸
傳輸元素。一些潛在的
從而消除了錯誤源：
•由于發(fā)熱導(dǎo)致的定位誤差
在循環(huán)滾珠絲杠中
•反向誤差
•滾珠絲杠運動誤差
螺距誤差
因此，線性編碼器是*的。
用于高定位的機床
精度和高加工率
*。
暴露的線性編碼器用于
要求高的機器和設(shè)備
測量精度。典型應(yīng)用
包括以下內(nèi)容：
•測量和生產(chǎn)設(shè)備
半導(dǎo)體工業(yè)
•印刷電路板組裝機
•超精密機器和設(shè)備
如光學(xué)用金剛石車床
磁性表面車床部件
存儲盤和研磨機
鐵氧體成分
•高精度機床
•測量機和比較儀，
測量顯微鏡和其他
精密測量裝置
•直接驅(qū)動
機械設(shè)計
暴露的線性編碼器由刻度組成
或是卷尺和掃描頭
無機械接觸操作。
暴露的線性編碼器的刻度為
固定在安裝面上。高
因此，安裝表面的平整度為
對高的重要要求
精確 

高真空和超高真空技術(shù)

我們的標(biāo)準編碼器適用于低真空或中等真空應(yīng)用。高真空或超高真空應(yīng)用的光柵尺需要滿足一些特殊要求。采用的設(shè)計和材質(zhì)必須滿足應(yīng)用要求。更多信息，參見“真空中應(yīng)用的直線光柵尺”產(chǎn)品信息。

以下敞開式直線光柵尺于高真空或超高真空應(yīng)用環(huán)境。

• 高真空：LIP 481 V和LIF 481 V 
• 超高真空：LIP 481 U

二維坐標(biāo)測量

PP二維編碼器的測量基準是平面DIADUR工藝制造的相位光柵，采用干涉掃描方法。用于測量平面中位置。

詳見：海德漢HEIDENHAIN光柵尺