ST2020-DLXn薄膜測厚儀規格                              
 波長范圍  400~800nm
 測量范圍  200?~ 35?(Depends on Film Type)
 透鏡大小  M5x,M10x
 測量光斑尺寸  40?，20?
 測量層數 3

 ST2020-DLXn薄膜測厚儀樣品臺尺寸 200mmX200mm
 X,Y,Z機制 
 輥式導板
 移動距離：200mmX200mm

 手動聚焦模塊  同軸粗微調焦控制
 可選部分 
 SRM(標準參考樣片)
 光學透鏡 M50X(光斑尺寸:4?)
 CCD攝像頭
 透射功能

產品特征                              
快速測量&操作簡便
非接觸&非破壞性
良好的重復性和再現性
基于用戶易操作的界面
各個視圖和儲存數據的打印功能
測量可達3層&測量精度良好
測量平臺尺寸加大
手動型

應用領域                              
半導體:Poly-Si,GaAs,GaN,InP,ZnS,SiGe...
介質材料:SiO2,Si3N4,TiO2,ITO,ZrO2,BTS,HfO2
Polymer:PVA,PET,PP,PR...
LCD:a-Si,n+a-Si,氧化物，ITO,屏間隙，光刻膠與酰亞胺薄膜，石英
Optical Coating:Hardness涂層，增透膜,Filters,Packing & Functional Film
Recordable 材料：光感導鼓，攝像頭，光盤...
其他：示波管上的光阻薄膜材料與掩膜板，薄金屬膜，激光鏡,ALQ3...