電腦式HMDS 涂膠機 HMDS 預處理系統的必要性：在半導體生產工藝中，光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節，涂膠質量直接影響到光刻的質量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導致光刻圖形轉移的失敗，同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起著偶聯劑的作用。

電腦式HMDS 涂膠機

一、HMDS 預處理系統的應用領域：在勻膠前的硅片等基片表面均勻涂布一層HMDS。作用：降低HMDS處理后的硅片接觸角，進而降低勻膠時光刻膠在硅片表面鋪展開的難度，提高光刻膠與硅片的黏附性，降低光刻膠的用量。

二、HMDS 預處理系統的原理： 預處理系統通過對烘箱HMDS預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

三、 HMDS 預處理系統的一般工作流程： 1. 首先設定烘箱工作溫度。

2. 待腔體三面加熱箱體使溫度達到150（或設定溫度）度左右

3. 開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。

4. 打開真空泵抽真空，待腔內真空度達到設定真空度后

5. 開始充入氮氣，充氮氣到達到設定真空度后，

6. 再次進行抽真空、充入氮氣的過程，到達設定的充入氮氣次數后，

7. 然后再次開始抽真空到進藥夜真空值，

8. 加熱HMDS管道，

9. 充入HMDS氣體到達設定時間后，停止充入HMDS藥液，

10. 進入保持階段，使硅片充分與HMDS反應。

11. 當達到設定的保持時間后，再次開始抽真空，充氮氣，

12. 反復數次到設定次數，完成整個作業過程。

電腦式HMDS 涂膠機 說明：去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個反應持續到空間位阻(*基硅烷基較大)阻止其進一步反應

五. 尾氣排放等：多余的HMDS蒸汽（尾氣）將由真空泵抽出，排放到廢氣收集管道。

在無廢氣收集管道時需做專門處理。

六. 主要技術指標：

6.1 機外殼采用優質冷軋鋼板，烤漆制造，內膽為不銹鋼316L材料制成；加熱器均勻分

布在內膽外壁四周，內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門

觀察工作室內物體一目了然。

6.2 箱門閉合松緊能調節，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內高真空度。

6.3 微電腦智能控溫儀，具有設定，測定溫度雙數字顯示和PID自整定功能，控溫精確，

可靠。

6.4 智能化觸摸屏控制系統配套PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序，溫度，

真空度及每一程序時間。

6.5 HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏

顧慮。整個系統采用優質材料制造，無發塵材料，適用100級光刻間凈化環境。

6.6 HMDS管路加熱功能，使HMDS液體進入箱體的前端管路加熱，使轉為HMDS氣態

時更易.

6.7 低液報警裝置，采用的液體感測器，能及時靈敏給出指令（當HMDS

液過低時發出報警及及時切斷工作起動功能）

6.8 溫度與PLC聯動保護功能（當PLC沒有啟動程序時，加溫功能啟動不了，相反

加溫功能啟動時，PLC程序不按正常走時也及時切斷工作功能，發出警報）

6.9整個箱體及HMDS氣體管路采用SUS316醫用不銹鋼材料，整體使用無縫焊接

（避免拼接導致HMDS液體腐蝕外泄對人體的傷害）

七、整機尺寸、真空腔體尺寸：7.1 內膽尺寸：450X450X450mm) 外尺寸W1030*H1730*L900mm 容積：90L

7.2 載物托架：2塊

7.3 室溫+30℃-200℃（高溫度250℃）

控溫范圍：溫度分辨率：0.1℃ 溫度波動度：±0.5℃

7.4 真空泵：采用防油泵，旋片式油泵真空度：133pa，

7.5 加熱方式：腔體下部及兩側加溫。加熱器為外置加熱板 7.6 可放2寸晶圓片,4寸晶圓片,6寸晶圓片,8寸晶圓片,12寸晶圓片；

7.7開箱溫度可以由user自行設定來降低process時間（正常工藝在50分鐘-120分鐘(按

產品所需而定烘烤時間),為正常工作周期不含降溫時間（因降溫時間為常規降溫））；

7.8 外殼采優質冷軋銹鋼板烤漆處理，內膽采不銹鋼采用SUS316材質。

八. 安全保護措施： 安全可靠的接地保護裝置；工作室超溫保護; 加熱器短路保護。

九、設備使用條件：

9.1 環境條件：溫度5～35℃；濕度：≤85%R.H；

9.2電源：電源電壓：AC220V±10%/50Hz±2%    輸入功率：2400W

9.3 排風要堿性廢氣排風（廢氣要處理）;

9.4 接氣：ø8快接

十. 配備技術資料及附件：技術資料、產品合格證、使用說明書、電氣原理圖等。

十一. 包裝及運輸方式：包裝：滿足要求的運輸包裝箱；運輸方式：公路運輸。

十二. 驗收標準及方法：

12.1 驗收標準：雙方簽定之“技術協議書”或國家相關標準；

12.2 驗收方法：在需方現場進行正式驗收。

十三. 售后服務：設備驗收合格之日起，保修一年，在保質期內除人為損壞外免費維修，不收取任

何費用，終身提供維修。（注：箱體密封圈屬易損耗件，不屬于保修范圍。請另行購買。）

十四、產品如圖：