AIETC紫外線UV照射器MUVBA-0.4x0.6x0.2

AIETC紫外線UV照射器

AITEC艾泰克晶圓紫外線輻照器MUVBA-0.4x0.6x0.2 產品說明：
1、它是在用于半導體制造晶片加工（切割和背面研磨）工藝的紫外線固化型膜上照射紫外（UV）光的裝置。（UV膜固化裝置）
2、用于晶片的切割帶的固化應用。
3、每個波長可更換的輻射器。
4、適用于小批量生產應用。
5、采用氮取代（N 2吹掃）機制減少了UV固化過程中的氧氣抑制。
AITEC艾泰克晶圓紫外線輻照器MUVBA-0.4x0.6x0.2 產品特點：
1、用氮氣（N 2預吹掃）機制（UV膜固化裝置）代替。
2、6英寸，8英寸晶圓兼容。
3、可生產12英寸晶圓。
4、輻照器可交換（365,385,395,405 nm等）。
5、可調光范圍為0至100％。
AITEC艾泰克晶圓紫外線輻照器MUVBA-0.4x0.6x0.2 產品參數：