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化工儀器網>產品展廳>分析儀器>X射線儀器>X射線衍射儀(XRD)>DX 多功能X射線衍射/反射儀

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DX 多功能X射線衍射/反射儀

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公司自成立以來就一直專注于半導體、微組裝和電子裝配等領域的設備集成和技術服務;目前公司擁有一支在半導體制造、微組裝及電子裝配等領域經驗豐富的專業技術團隊,專業服務于混合電路、光電模塊、MEMS、先進封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設備,還能根據客戶的實際生產需求制訂可行的工藝技術方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導體制造設備企業建立了良好的合作關系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進的設備和專業的技術服務打下了堅實基礎。

 

半導體設備,微組裝設備,LTCC設備,化工檢測設備

價格區間 300萬-500萬 儀器種類 小角散射儀
應用領域 化工,生物產業,能源,電子/電池

簡介

 

Jordan Valley公司zui新設計的Delta-X是多功能的X射線衍射設備,可靈活應用于材料科學研究、工藝開發、與生產質量控制。Delta-X衍射儀的光源臺和探測臺的光學元件可以全自動化調控,并采用水平式樣品臺。Delta-X衍射儀可以在常規衍射模式、高分辨率衍射模式、X射線反射模式之間靈活切換。光學配置的切換*在菜單式程序控制下由計算機完成,無需手動操作。自動化切換和準直不需要專門人員和操作設備,并確保每次切換都能達到zui佳的光學準直狀態。

 

常規的樣品測量可以通過Delta-X衍射儀,實現部分、乃至*的自動化運行,自動化測量程序可以依客戶需求進行專門定制。也可采用*的手動模式操作Delta-X衍射儀,以便發展新測量方法,研究新材料體系。

 

數據分析或擬合可以作為測量程序的一部分,可實現*自動化,也可依據需要單獨進行數據分析。 依半導體生產線的需求,將RADS和REFS擬合軟件以自動化模式運行,允許在沒有用戶干擾的情況下自動完成常規性的數據分析,并直接完成數據擬合和結果輸出。RADS和REFS也可以單獨安裝,以便進行更詳細的數據分析。

 

 

Delta-X衍射儀能滿足科學研究所和技術開發中心 不同材料體系的*測試需求。

 

Delta-X 衍射儀的主要特點和優勢

  • 自動化進行樣品準直、測試、和數據分析
  • 客戶可以自行設定測量的自動化程度
  • 300mm的歐拉環支架(Eulerian Cradle)設計,高精度的樣品定位和掃描
  • 300mm的晶片水平式放置,且可以完整mapping
  • 100º的Chi軸傾轉范圍、無限制范圍的Phi軸旋轉空間,可實現極圖和殘余應力測試
  • 智能化的光學配置切換和準直。依測量需要,自動選擇光學配置并實施光學準直
  • 工業界的設備控制軟件和數據分析軟件
  • 高分辨率測角儀,以保證精密且準確的測量
  • 高強度的光源臺設計和光學元件組合,以實現快速測量
  • 多方面廣泛的測試技術和測量參數
  • 由擁有超過30年的高分辨率X射線衍射經驗的世jie級專家設計、制造,具有客戶經驗。


 

 

 

Delta-X衍射儀的特點和優勢

自動化控制的光學系統:

Delta-X衍射儀的入射束包括多種標準的光學配置模式,以便使光學配置具有充分的靈活性,且易于操作。可以依據測量樣品的材料類型,選擇參考晶體。

 

 

 
 

 

 

 

 

  • 標準模式:用于所有系統,平行束多層膜高反鏡
  • 其他四種光學系統可以選擇和安裝:
    • Bragg-Brentano(Johannson光學元件)
    • Bragg-Brentano(Johannson光學元件)和一個參考晶體(二次反射)
    • 兩個獨立的參考晶體(二次反射):參考晶體的材料類型和分辨率有多種設計供選擇,以便提供與測量zui匹配的分辨率。
    • 兩個參考晶體,以Bartels模式安裝
  • 參考晶體和高反鏡均可自動化切換
  • 不需要將參考晶體和高反鏡手動移出衍射儀,保證光學元件不被損壞、不偏離準直狀態。
  • 衍射儀的初始準直易于操作,安全可靠,無需在設備內開啟X射線操作。


 

 

 

樣品臺

可放置直徑≤300mm晶片或多個小尺寸晶片、樣品

Delta-X衍射儀的歐拉(Eulerian )環支架設計允許放置單個或多個晶片或樣品,并提供多個轉動軸的大范圍、高再現性的精確移動控制。

 

  • 水平式樣品放置
  • 可實現X和Y軸方向上,300mm內的完整mapping測量,無邊緣測量失真的現象
  • 10mm的Z軸高度范圍,即使對厚樣品也可以調整晶片高度,獲得zui佳測量位置
  • 在樣品盤的不同位置,設計了均勻、無扭曲的真空輕度吸附,既適合大尺寸晶片放置,又適合獨立、小尺寸晶片的多片式放置
  • 100°的Chi軸傾轉范圍,可實現完整的極圖和殘余應力測量
  • Phi軸的旋轉范圍無限制,可實現完整的極圖和面內衍射測量

 

“邊緣至邊緣”全晶片測量 (無邊緣測量失真現象)

 

 

 
 

 

 

 

Delta-X衍射儀支持全晶片測量,無邊緣測量失真的現象。

特殊環境樣品臺

Delta-X衍射儀可選配高溫臺,并用于各種測試技術。

  • 樣品尺寸≤25mm
  • XRR/XRD/HRXRD等技術均可實現
  • zui高溫度可達1100℃
  • 可實現真空、空氣、特殊氣體等不同的測量環境
  • 可實現溫度的計算機自動控制


 

 

 


 

探測臺

 

閃爍式高性能點探測器


 

 

探測系統具有顯著提高響應特性等多方面的特點:

  • EDRc (動態響應范圍增強型)探測器的動態響應范圍>2x107cps。配置全自動化衰減器后,動態響應范圍可提高至5x108cps。
  • 選配三軸分析晶體和Soller狹縫,可自動化準直,以保障各項測量所需的分辨率。
  • 馬達驅動的自動化探測狹縫。無需手動調整,即可控制探測臺的接收精度。
  • 超快速掃描引擎和軟件。大范圍掃描可以在5秒內完成。

 

性能的線探測器(選配件)

提供一維(1D)線探測器可供選擇,能實現束線信號的同步平行采集,能顯著提高XRD的測量速度。特別適用于小束斑條件下的XRD測量、和快速HRXRD倒易空間map測量。

  • 自動化束線準直


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