產地類別 | 國產 | 加熱方式 | 電加熱 |
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價格區間 | 5萬-10萬 | 控溫精度 | ±1℃ |
內部尺寸 | 訂制mm | 升溫速度(達到最高溫) | 10/min |
儀器種類 | 管式爐 | 應用領域 | 化工,石油,能源,電子/電池,電氣 |
最大功率 | 訂制kW | 最高溫度 | 1650℃ |
高溫真空管式爐專門設計用于高溫、中溫、低溫CVD工藝。如碳納米管的研制,ZnO納米結構的可控生長、氮化硅渡膜、陶瓷基片導電率測試、陶瓷電容器(MLCC)氣氛燒結等等。 窯爐采用氧化鋁纖維制品隔熱、保溫,進口電阻絲加熱,99剛玉管爐膛, 系統可預抽真空,氣體采用一路流量計控制。進口單回路智能溫度控制儀控制,有效的實現溫度的控制。設備具有溫度均勻、控制穩定、升溫速度快、節能、使用溫度高、壽命長等特點,是理想的科研設備。
設備型號 | CVD(D)-06/60/3 | CVD(Z)-06/30/1 | CVD(G)-07/50/2 | CVD(G)-09/50/1 |
高溫度 | 1050℃ | 1350℃ | 1650℃/1000℃ | 1650℃ |
使用溫度 | RT-1000℃ | 850-1300℃ | 1000-1600℃ | 1000-1600℃ |
控溫精度 | ±1.5℃ | ±1.5℃ | ±1.5℃ | ±1.5℃ |
溫區個數 | 3 | 1 | 2 | 1 |
加熱區長度 | 600mm | 300mm | 500mm | 500mm |
爐管材料 | 石英管 | 剛玉管 | 剛玉管 | 剛玉管 |
爐管尺寸 | 60x1400mm | 60x1000mm | 70x1450mm | 90x1450mm |
發熱元件 | 進口電阻絲 | 電阻絲/硅碳棒 | 硅鉬棒、電阻絲 | 硅鉬棒 |
大裝機功率 | 4.5KW | 3KW/8KW | 8KW | 10KW |