TESCAN S9000分析儀是一款功能極其強(qiáng)大的分析儀器，可用于表征納米材料的表面以及進(jìn)行微觀(guān)分析。TESCAN S9000采用 Triglav™ 型 SEM 鏡筒，具有超高的分辨率，在低電壓下尤為明顯；鏡筒內(nèi)探測(cè)器系統(tǒng)具有電子信號(hào)過(guò)濾能力，可以獲得更好的圖像襯度和表面靈敏度。此外，S9000 配備肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)軌蛱峁└哌_(dá) 400 nA 的束流，同時(shí) Triglav™型 SEM 鏡筒所具備的出色性能和高穩(wěn)定性，為微分析和長(zhǎng)耗時(shí)樣品的分析應(yīng)用提供了條件。
 

TESCAN S9000分析儀低電壓下的優(yōu)異性能和所能獲得的各種圖像襯度，使得它非常適用于不導(dǎo)電樣品的成像，如陶瓷、無(wú)涂層生物樣品，以及在半導(dǎo)體工業(yè)和新材料研究中應(yīng)用越來(lái)越普遍的光敏樣品。TESCAN S9000 使用了TESCAN Essence™ 軟件，用戶(hù)界面友好，可以滿(mǎn)足各類(lèi)應(yīng)用需求，可定制的布局以及自動(dòng)化的樣品制備功能，提升了操作便捷性和工作效率。

主要特點(diǎn)

• 表征納米材料的解決方案
  TESCAN 的 Triglav™型 SEM 鏡筒具有三物鏡系統(tǒng) TriLens™ ，與同類(lèi)設(shè)備相比功能更多樣化。UH-resolution 物鏡提供的超高分辨率非常適合于形貌細(xì)節(jié)觀(guān)察，使研究人員能夠更好的分析納米級(jí)樣品。全新的高分辨 Analytical 物鏡可實(shí)現(xiàn)無(wú)漏磁成像，是磁性樣品觀(guān)察和分析（EDS, EBSD）的理想選擇。第三個(gè)物鏡可以實(shí)現(xiàn)多種模式觀(guān)測(cè)，并對(duì)束斑形狀進(jìn)行優(yōu)化，進(jìn)而改善成像和分析性能。

• 可以獲得不同襯度圖像
  TESCAN S9000 配備 TriBE™ 探測(cè)器系統(tǒng)：包含三個(gè)背散射電子探測(cè)器，可以根據(jù)角度和能量的差異選擇性地收集信號(hào)，Mid-Angle BSE 和 In-Beam f-BSE 探測(cè)器位于鏡筒內(nèi)，可以接收中角度和軸向的背散射電子，而樣品室內(nèi)背散射電子探測(cè)器則用于接收廣角背散射電子。同時(shí)，S9000 還配備 TriSE™ 探測(cè)器系統(tǒng)：共有三個(gè)二次電子探測(cè)器，可在所有工作模式下以方式獲取二次電子：In-Beam SE 探測(cè)器可以在非常短的工作距離下接收二次電子；SE（BDM）為電子束減速模式下的二次電子探測(cè)器可以提供分辨率；樣品室內(nèi)的二次電子探測(cè)器則能提供形貌襯度的圖像。

• 更加優(yōu)秀的成像能力
  新一代 Triglav™ 鏡筒中的鏡筒內(nèi)探測(cè)器系統(tǒng)經(jīng)過(guò)進(jìn)一步優(yōu)化，信號(hào)檢測(cè)效率提高了三倍以上。此外，該系統(tǒng)還擴(kuò)展了檢測(cè)能力，能夠采集能量過(guò)濾后的軸向背散射電子信號(hào)，這樣就可以通過(guò)選擇性地收集低損耗背散射電子來(lái)獲得更好的襯度和表面靈敏度。

• 提供分析條件
  新一代 Triglav™ 鏡筒還具有自適應(yīng)束斑優(yōu)化功能，可以提高了大束流下的分辨率，這一特點(diǎn)有利于更好的進(jìn)行 EDS、WDS 和 EBSD 等分析。此外，肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍能夠產(chǎn)生高達(dá) 400 nA 的電子束流，電壓也可以快速改變并保證在所有的分析應(yīng)用下都能夠獲得良好的信號(hào)。