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施啟樂(廣州)儀器有限公司

化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>凈化/清洗/消毒>洗瓶機/清洗機>SEMI-KLEEN SEMI-KLEEN 等離子清洗儀

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SEMI-KLEEN SEMI-KLEEN 等離子清洗儀

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 邁可諾技術有限公司
  • 品牌 PIE scientific
  • 型號 SEMI-KLEEN
  • 產地
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2025/7/1 18:50:16
  • 訪問次數 1960

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半導體化工領域專業實驗設備供應商:邁可諾是一家富有創新精神的高科技公司,專業提供光電半導體化工實驗室所需設備耗材的全套解決方案提供商,邁可諾從事開發、設計、生產并營銷質量可靠的、安全易用的技術產品及優質專業的服務,幫助我們的客戶和合作伙伴取得成功。我們成功的基礎是幫助客戶做出更好的選擇和決定,尊重他們的決定,并協助他們實現高效率的科研成果,追求豐富有意義的生活。




勻膠機,光刻機,顯影機,等離子清洗機,紫外臭氧清洗機,紫外固化箱,壓片機,等離子去膠機,刻蝕機,加熱板

產地類別 進口 價格區間 5萬-10萬

污染物對電子顯微鏡SEM/TEM和其它高真空系統產生的影響

潤滑劑、真空脂、泵油樣品中的高分子聚合物,或未經處理的空氣都會把碳氫污染物引到真空系統中。低蒸汽壓下高分子重污染物會凝聚在樣品表面和腔室壁上,而使用普通氣體吹掃方法很難把碳氫污染物清除。

電子和高能光子(EUV, X-ray)能夠分解存在于真空系統中或樣品上的碳氫污染物。碳氫化合物的分解產物沉積在被觀測的樣品表面或電子光學部件上。這種碳氫污染沉積會降低EUV的鏡面反射率,降低SEM圖像對比度和分辨率,造成錯誤的表面分析結果,沉積在光闌或其它電子組件的不導電碳氫污染物甚至會造成電子束位置或聚焦緩慢漂移。在ALD系統中,樣品表面的碳氫污染物還會降低薄膜的界面匹配質量。

遠程等離子清潔的原理

遠程等離子源需安裝在要被清潔的真空腔室上,控制器向遠程離子源提供射頻能量。射頻電磁場能激發等離子體,分解輸入氣體而產生氧或氫的活性基,活性基會擴散到下游的真空腔室,并與其中的污染物發生化學反應,反應產物能輕易地被抽走。遠程等離子清洗機可同時清潔真空系統和樣品。

技術特點:

快速清潔被污染的SEM樣品。2-60秒氫等離子體清潔ALD樣品。不需減速或關閉渦輪分子泵

低等離子偏壓設計減少離子濺射和顆粒生成。結合多級氣體過濾技術,SEMI-KLEEN能夠滿足用戶苛刻的顆粒污染清除要求

可選藍寶石管腔體和耐腐蝕性氣體的流量控制器,以便支持CF4, NF3, NH3, HF, H2S等應用

*的等離子強度傳感器可實時監測等離子狀態,用戶對等離子狀態一目了然

基于壓力傳感回饋控制的自動電子流量控制器,無需手動調節針閥

直觀的觸摸屏操作,可定義60條清洗程序方案

擁有智能安全操作模式和專家控制模式;SmartScheduleTM定時裝置,通過檢測樣品裝載次數或時間間隔來定時清潔系統

 技術指標

1. 等離子源真空接口:NW/KF40 法蘭; 提供轉接法蘭;

2. 標配等離子強度傳感器;

3. 等離子源低點火起輝氣壓:<0.1毫托;

4. 等離子源高工作氣壓:>1.0 托;

5. 漏氣率:<0.005sccm;

6. 射頻輸出:0~100瓦,連續可調節;

7. 具有射頻自動匹配功能

8. 電源和功率:220V, 50Hz,

低電磁干擾設計,安靜的待機模式



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