巴魯夫成型外殼內的磁致伸縮位移傳感器

（1）*將直線電機加氣浮導軌的驅動方式應用于位移傳感器自動化校準。相對于傳統的機械驅動方式，直線電機不僅能夠直接讓運動部件作直線運動，簡化了設備結構，不需要中間轉換過程，其動態響應性能和重復定位精度都大大提高，通過和氣浮導軌配合可使得校準過程穩定性好。

（2）將標準與被校傳感器置于氣浮導軌兩端，傳感器牽引端與氣吸附滑塊上的運動端通過轉接裝置相連，激光干涉儀的反射鏡同樣置于滑塊上，校準時通過夾具調節使位移傳感器運動方向與激光干涉儀測量方向在同一條直線上，實現阿貝誤差的消除。

（3）基于磁致伸縮測桿式傳感器校準設計夾具，配合支撐點消除變形的校準方式，解決了該類傳感器校準過程中存在的撓度問題。后，通過對位移傳感器校準裝置不確定度的評定和驗證，表明該校準方法準確、有效、可行。

巴魯夫成型外殼內的磁致伸縮位移傳感器

主營德國進口備件:巴魯夫BALLUFF

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