1、高靈敏度五分割半導體背散射電子探測器（日立為標配，其它家均為選配）
背散射電子圖像對于反映樣品成分是非常重要的模式，如觀察樣品材料表面
缺陷分析中的夾雜和偏析等，BSE 模式下可以獲得區域中成分差異表現出來的襯
度像。日立 SU3500 掃描電鏡標配了高靈敏度五分割半導體背散射電子探測器，
可實現 3D 形貌觀察，可以體現材料表面凹凸信息。而且分辨率達到 4nm。
高靈敏度表現在可以在快掃描刷新模式下成像，方便尋找樣品，另外在低加速電
壓也可以獲高質量的 BSE 圖像；五分割設計使得電鏡可以獲得更多組合模式
成像（每個分割片都可以單獨設置為正信號、負信號或者 OFF），另外 5 片分割
片同時開啟可以獲得日立 SU3500 掃描電鏡*的 BSE 3D 模式像，以得到立體
感增強的背散射電子圖像。方便客戶實現對被測樣品多角度觀察，全面分析和觀察！

2.六偏壓設計提高低加速電壓條件下的電鏡圖像質量
低加速電壓圖像可以獲得樣品更多表面細節信息，在材料的表面高襯度觀察
和腐蝕失效分析等方面有著非常重要的分析應用價值。日立 SU3500 掃描電鏡采
取的是四偏壓設計，提高低加速電壓條件下的發射束流值，明顯提升 SEM 圖像質量。適用于觀察非導電樣品

3.完善的防碰撞系統避免馬達臺移動中碰撞損壞樣品倉內的探測器
 日立 SU3500 掃描電鏡具有*的三重防碰撞系統，1，高度規測量高度，
2.軟件防護 3.硬件擋板防護。 首先只要在樣品放入樣品倉之前輸入樣品高度和
樣品臺直徑，系統會自動屏蔽可能發生碰撞的馬達臺操作，避免損壞樣品倉內價
值不菲的各類探測器。

4.新穎的相機導航功能方便尋找和確定樣品位置
電鏡圖像是根據樣品不同位置的信號強弱來成像的，某些樣品光學圖像中不
同顏色代表不同區域，這種情況下通常在電鏡操作過程中很難找到相應的位置。
使用光學數碼照片導航功能，可以一目了然的確定樣品臺不同區域的位置，在很多情況下可以*的提高了尋找感興趣區域的效率。

5.長襯管設計方便更換聚光鏡光闌，降低電鏡維護成本
掃描電鏡在使用一段時間之后需要更換光闌以確保其高分辨圖像的觀察效
果，日立 SU3500 掃描電鏡采用聚光鏡光闌長襯管安裝方式，取出和安裝簡單易做，保證了維護后性能的穩定，用戶經過培訓之后即可自行更換聚光鏡光闌片，
節約了維護費用。

應用領域： 

1、 生物醫學 

2、 食品衛生 

3、 電子半導體 

4、 汽車制造 

5、 新能源